真空碳化炉.pdf
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真空碳化炉.pdf
本发明公开了一种真空碳化炉及其处理方法。该炉包括外壳、在外壳内部设有的耐火燃烧室、在耐火燃烧室下方设有的炉膛和在耐火燃烧室的开口上设有的盖子,及在耐火燃烧室和炉膛之间设有的过滤层。本发明具有环保、灭菌彻底、使用方便,及节省成本和结构简单的效果。
石墨真空碳化炉.pdf
本发明涉及碳化炉技术领域,特指石墨真空碳化炉,包括有碳化炉体,碳化炉体上的排气口处连接有排污过滤装置,排污过滤装置包括有第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、第一真空泵,第一过滤器和第三过滤器内部的外腔与内腔之间均通过过滤瓷环分隔,第二过滤器和第四过滤器内部的外腔与内腔之间均通过空气过滤网分隔,排气口依次连接第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第四过滤器、第一真空泵,本发明由于排放气体经过两次过滤瓷环的过滤冷却和两次空气过滤网的过滤,能够充分地将气体中的CO、CO2、CH4、焦油等杂质过滤掉,提
超高真空碳化硅原料合成炉系统.pdf
本发明公开一种超高真空碳化硅原料合成炉系统,涉及碳化硅合成技术领域,由其制备的高纯碳化硅粉体原料能够广泛用于半导体碳化硅单晶体的生长及高纯碳化硅陶瓷样品的制备。本发明所述的超高真空碳化硅原料合成炉系统中,炉室为圆筒形立式双层水冷结构,炉室上安装炉盖,炉盖为双层水冷结构,红外测温组件位于炉盖顶端,炉盖可由电动升降机实现升降并旋开;炉室通过闸板阀、泵抽弯管与分子泵连接,组成系统主抽管路,炉室通过角阀、波纹管与机械泵相连,组成系统旁抽管路;样品支撑机构与炉室底盘固定,感应加热组件、测量组件分别与炉室侧面法兰固定
碳化硅制品生产用真空烧结炉.pdf
本发明提出了一种碳化硅制品生产用真空烧结炉,其中,炉门与炉体相接触的侧面的边缘设置有第一环形凸起,第一环形凸起中部开设有环形凹槽,环形凹槽的内底面上嵌设有环形金属棒;炉体的开口端设置有第二环形凸起,第二环形凸起与环形凹槽相插接,第二环形凸起开设有环状弧形凹槽,第二环形凸起插设至环形凹槽内后,环形金属棒卡设在环状弧形凹槽内;环形金属棒内部设置有电热丝,电热丝与控制装置电连接。本发明通过采用金属棒的方式在炉体和炉门结合处进行密封,利用金属材料热胀冷缩的原理,能够在金属棒受热膨胀后,有效地对炉体和炉门结合处进行
一种高温真空碳化硅烧结炉.pdf
本发明涉及烧结炉技术领域,公开了一种高温真空碳化硅烧结炉,包括,支撑座、炉体、烧结室、保温层、抽真空装置和控制装置,炉体固定设置在支撑座上,且炉体内部开设有腔体,烧结室设置在腔体内,烧结室用于对待烧结产品进行加热烧结,保温层套设在烧结室上,保温层用于对烧结室进行保温,抽真空装置,设置在炉体上,抽真空装置用于控制炉体内部处于真空环境,控制装置,连接于烧结室,并对烧结室进行管理与控制,本申请通过对烧结时间和加热速率进行控制,可以有效地提高烧结室的加热效率,同时保证炉温的均匀性,本申请还可以使烧结炉对热量的利用