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一种用于石墨化炉的石墨坩埚.pdf
2023-06-19
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猫巷****正德
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本发明公开了一种用于石墨化炉的石墨坩埚，包括石墨坩埚本体、防尘固定装置及加热装置，加热装置的上端放置有石墨坩埚本体和防尘固定装置，防尘固定装置内设有石墨坩埚本体，石墨坩埚本体包括石墨内层、石英外层及引流口，石墨内层的外侧设有石英外层，石墨内层的上端设有引流口，石墨内层的下端连接有坩埚加热底座，防尘固定装置包括保护罩和上端盖，保护罩的上端通过支撑旋转臂固定连接上端盖，保护罩环绕于石墨坩埚本体的外侧，保护罩与石墨坩埚本体之间设有固定件，加热装置上设有环形凹槽。本发明实用性强，不仅提高石墨坩埚装置工作时候的稳定
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2023-06-15
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