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一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法.pdf
2023-06-18
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朋兴****en
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本发明涉及一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法，属于材料技术领域。其包括铝50‑82份，钛5‑20份，镍1‑30份，铬0.3‑5份，硅1‑8份，钼0.2‑3份，钕0.1‑2份，用真空连续铸造炉，通过铝锭熔化、硅块熔化、钼块熔化、钛块熔化、铬块和镍块的熔化、钕熔化及铸棒得到合金棒材，再通过连续拉丝机，得到直径2毫米的丝材，退火后，将其用于喷涂硅铝靶材的打底层。本发明制备得到的合金抗氧化能力强，软硬适中，与背管和靶体的结合力强，并且不具磁性，成本低廉。
2023-06-18
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2023-12-05
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本发明揭示了一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液；将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液；将镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液；将镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭；将镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后，得到镍铬铝钇硅合金靶材。本发明提供的一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，
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