一种全闭环温度控制炉及其温度控制方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106017076A(43)申请公布日2016.10.12(21)申请号201610543402.5(22)申请日2016.07.09(71)申请人东莞市科隆威自动化设备有限公司地址523000广东省东莞市寮步镇石步村石大路(72)发明人苏金财冼志军王军涛(74)专利代理机构广东莞信律师事务所44332代理人曾秋梅(51)Int.Cl.F27B9/24(2006.01)F27B9/06(2006.01)F27B9/12(2006.01)F27B9/36(2006.01)F27B9/40(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种全闭环温度控制炉及其温度控制方法(57)摘要本发明公开一种全闭环温度控制炉，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，上炉胆和下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，上炉胆内还设有用于感应控制上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件。本发明结构简单、可以确保每个烧结的温区温度差平衡，控制在一定的温度范围内进行烧结。CN106017076ACN106017076A权利要求书1/2页1.一种全闭环温度控制炉，其特征在于，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，所述上炉胆和所述下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在所述硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，所述上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，所述上炉胆内还设有用于感应控制所述上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，所述下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，所述下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件。2.根据权利要求1所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述上炉胆温区的温度与所述下炉胆温区之间形成一个平衡稳定的温度差。3.根据权利要求2所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述上炉胆温区的温度与所述下炉胆温区之间形成的温度差为小于300℃。4.根据权利要求3所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述上加热装置包括至少一根横向安装在所述上炉胆温区的上发热管，所述上发热管的电源连接线上设置有用于监控上发热管工作状态的上监控显示器，所述上监控显示器不能显示亮光时，所述上发热管损坏，可从所述上炉胆温区的位置取下更换；所述上降温装置包括至少一根连通与所述上炉胆温区的上吹风管道，所述上吹风管道的进气口伸出所述上炉胆外。5.根据权利要求4所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述上炉胆温区内设有一呈U形的上透气棉罩，所述上炉胆温区的内侧壁设有上实心保温棉，所述上吹风管道出风口伸入所述上透气棉罩内，所述上吹风管道输送冷却风时，由冷却风充满保温棉与透气棉之间的密闭空间，并形成一个密闭风腔，由于透气棉是平面结构，因此冷却风在风腔压力下透过透气棉后，会在炉胆内成为具有流向的平面冷却风流，从而能对炉腔平衡降温。6.根据权利要求5所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述上温度感应控制组件包括若干个上温度热电偶，所述上温度热电偶的感温探头伸入所述上炉胆温区内，所述上温度热电偶与温度控制器连接。7.根据权利要求3所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述下加热装置包括至少一根横向安装在所述下炉胆温区的下发热管，所述下发热管的电源连接线上设置有用于监控下发热管工作状态的下监控显示器，所述下监控显示器不能显示亮光时，所述下发热管损坏，可从所述下炉胆温区的位置取下更换；所述下降温装置包括至少一根连通与所述下炉胆温区的下吹风管道，所述下吹风管道的进气口伸出所述下炉胆外。8.根据权利要求7所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述下炉胆温区内设有一呈U形的下透气棉罩，所述下炉胆温区的内侧壁设有下实心保温棉，所述下吹风管道出风口伸入所述下透气棉罩内，所述下吹风管道输送冷却风时，由冷却风充满保温棉与透气棉之间的密闭空间，并形成一个密闭风腔，由于透气棉是平面结构，因此冷却风在风腔压力下透过透气棉后，会在炉胆内成为具有流向的平面冷却风流，从而能对炉腔平衡降温。9.根据权利要求8所述的全闭环温度控制炉，其特征在于，所述下温度感应控制组件包括若干个下温度热电偶，所述下温度热电偶的感温探头伸入所述下炉胆温区内，所述下温度热电偶与温度控制器连接。2CN106017076A权利要求书2/2页10.一种全闭环温度控制炉的温度控制方法，其特征在