烧结装置及烧结方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106007356A(43)申请公布日2016.10.12(21)申请号201610176855.9(22)申请日2016.03.24(30)优先权数据2015-0608732015.03.24JP2016-0578462016.03.23JP(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本东京市(72)发明人内田一也乙坂哲也(74)专利代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司44223代理人江耀纯(51)Int.Cl.C03B37/018(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称烧结装置及烧结方法(57)摘要一种烧结多孔质玻璃母材的烧结装置，包括：炉心管，容纳多孔质玻璃母材，由加热器围绕；盖部件，具有与多孔质玻璃母材结合的保持杆插通的插通孔，安装在炉心管的一端；密封腔，具有导入密封气体的供给口和排出密封气体的排出口，覆盖插通孔，设置在盖部件上；以及筒状部件，在密封腔的内部被保持杆插通，生成炉心管的内部的管内气体和密封腔的内部的气体之间的压力差。CN106007356ACN106007356A权利要求书1/1页1.一种烧结装置，用于烧结多孔质玻璃母材，其特征在于，包括：炉心管，容纳多孔质玻璃母材，由加热器围绕；盖部件，具有与多孔质玻璃母材结合的保持杆插通的插通孔，安装在所述炉心管的一端；密封腔，具有导入密封气体的供给口和排出密封气体的排出口，覆盖所述插通孔，设置在所述盖部件上；以及筒状部件，在所述密封腔的内部被所述保持杆插通，生成所述炉心管的内部的管内气体和所述密封腔的内部的气体之间的压力差。2.如权利要求1所述的烧结装置，其特征在于，还包括：直接排气口，设置在所述盖部件上，供从所述炉心管的内部排出的气体通过。3.如权利要求1所述的烧结装置，其特征在于，如果所述压力差大于预定的阈值，所述筒状部件从所述盖部件分离，使所述压力差减小。4.如权利要求1所述的烧结装置，其特征在于，所述筒状部件和所述保持杆的空隙为0.1mm以上且0.15mm以下，所述筒状部件的长度为100mm以上。5.如权利要求1所述的烧结装置，其特征在于，在所述筒状部件中，与所述盖部件接触的接触面的表面粗糙度为Ra2.0以下。6.如权利要求5所述的烧结装置，其特征在于，在所述筒状部件中，所述保持杆插通的贯通孔的内面的垂直度相对于所述接触面为0.01mm以下。7.如权利要求1所述的烧结装置，其特征在于，在所述筒状部件中，与所述盖部件接触的接触面的表面粗糙度为Ra2.0以下。8.一种多孔质玻璃母材的烧结方法，在炉心管内容纳多孔质玻璃母材且烧结多孔质玻璃母材，其特征在于，包括：将所述炉心管的内部的管内气体的压力维持为高于大气压，同时通过围绕所述炉心管的加热器来加热炉心管中容纳的多孔质玻璃母材，通过在与多孔质玻璃母材结合的保持杆和具有所述保持杆插通的插通孔且安装在所述炉心管的一端的盖部件之间、以及所述保持杆和所述保持杆插通的筒状部件之间，所述管内气体的一部分排出至覆盖所述插通孔且设置在所述盖部件上的密封腔中，将排出至所述密封腔的所述管内气体的一部分、和从设置在所述密封腔上的供给口供给的密封气体，从所述密封腔设置的排出口排出到外部。9.如权利要求8所述的多孔质玻璃母材的烧结方法，其特征在于，将从所述炉心管流入所述密封腔的气体的流量控制为预定的流量。2CN106007356A说明书1/5页烧结装置及烧结方法[技术领域][0001]本发明涉及多孔质玻璃母材的烧结装置和烧结方法。[背景技术][0002]已知的是使用VAD法、OVD法等来作为光纤用玻璃母材的制造方法。在这些方法中，首先在火焰中燃烧玻璃原料，通过水解来生成玻璃微粒。接着，使生成的玻璃微粒附着在旋转地靶棒上，来形成多孔质玻璃母材。进一步，在1400～1600℃下烧结多孔质玻璃母材，生成透明的光纤用玻璃母材。[0003]多孔质玻璃母材在特定组成的氛围气体下烧结而成。在烧结装置的烧结中，在外部气体侵入容纳多孔质玻璃母材的炉心管的情况下，制造的透明玻璃母材的品质降低。而且，炉心管内的氛围气体泄漏到外部，则污染环境。因此，提出了对烧结装置中的炉心管进行封闭的各种构造(例如，参考专利文献1)。[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]特开2002-226218号公报[发明内容][0007][发明要解决的问题][0008]封闭烧结中的炉心管的结构复杂且组装困难，并且也不容易使用。进一步，烧结装置的工作时间增加，部件劣化，因此气密性降低。因此，正在寻求对于烧结中的炉心管来防止外部气体侵入和管内气体泄漏、简单且寿命长的结构。[0009][解决问题的手段][0010]根据本发明的第一方式，提供了一种烧结装置，用