一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106145120A(43)申请公布日2016.11.23(21)申请号201510102944.4(22)申请日2015.03.10(71)申请人周正平地址750333内蒙古自治区阿拉善盟阿拉善左旗古兰泰镇民路新星小区13号楼中单元201号申请人李金忠(72)发明人周正平李金忠(51)Int.Cl.C01B33/107(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法(57)摘要本发明涉及多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，包括以下步骤：将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往冷氢化反应系统中注入氢气，注入氢气的体积占冷氢化反应系统中气体体积总量的15-21％；通过冷氢化反应系统对还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540-560℃；将经过加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。该方法把还原炉中排出的尾气不降温不分离不解析，而是作为原料直接进行氢化反应，因此，可以缩短工艺流程，起到节能降耗的目的。CN106145120ACN106145120A权利要求书1/1页1.一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其包括以下步骤：(1)将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往所述冷氢化反应系统中注入氢气，其中，注入氢气的体积占所述冷氢化反应系统中气体体积总量的15-21％；(2)通过所述冷氢化反应系统对所述还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540-560℃；(3)将经过所述冷氢化反应系统加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过所述冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其中，所述步骤(2)中的加热温度为550℃。3.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其中，将所述步骤(3)中产生的三氯氢硅直接送入还原炉中进行还原。2CN106145120A说明书1/3页一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法技术领域[0001]本发明属于多晶硅生产技术领域，涉及一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法。背景技术[0002]目前，在多晶硅生产过程中普遍都是采用还原炉进行还原。但是，在多晶硅生产中由于还原炉内大量存在没有反应以及反应后生成的四氯化硅等组分，因此，必须对其尾气进行回收再利用。[0003]现在，一般采用的是干法尾气回收法。这种干法尾气回收法需要进行冷却、吸附等技术，从而把尾气中的四氯化硅、氢气、三氯氢硅、二氯二氢硅等组分一一分离开，然后分别输送到不同的地方进行回收再利用，或者分离开之后再将四氯化硅进行冷氢化反应或热氢化反应。在整个回收工艺中，要把各组分离开，就要用到热能和冷能，这都要消耗大量电能，而且还要有特殊的处理工艺和设备才能做到，为多晶硅生产增加了能耗，并增加了企业的后续成本。再者，分离出来的组分，有时还不能直接用于还原生产。[0004]为此，目前迫切需要一种新型的还原系统尾气回收方法。发明内容[0005]本发明旨在克服现有技术的不足，提供一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，该方法把还原炉中排出的尾气不降温不分离不解析，而是作为原料直接进行氢化反应，因此，可以缩短工艺流程，起到节能降耗的目的。[0006]为此，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法，其包括以下步骤：[0007](1)将还原系统尾气直接送入冷氢化反应系统中，并往所述冷氢化反应系统中注入氢气，其中，注入氢气的体积占所述冷氢化反应系统中气体体积总量的15-21％；[0008](2)通过所述冷氢化反应系统对所述还原系统尾气和氢气进行加热，加热温度为540-560℃；[0009](3)将经过所述冷氢化反应系统加热后的还原系统尾气和氢气输入到冷氢化反应器中，进行氢化反应，使还原系统尾气中的四氯化硅与氢气反应直接转化成三氯氢硅，并通过所述冷氢化反应器中的纯化装置将还原系统尾气中的二氯二氢硅转换成三氯氢硅。[0010]进一步地，其中，所述步骤(2)中的加热温度为550℃。[0011]更进一步地，其中，将所述步骤(3)中产生的三氯氢硅直接送入还原炉中进行还原。[0012]本发明的多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法在进行尾气回收时，把还原炉生产中排出的尾气不降温、不分离、不解析，而是将还原尾气中的有效成份，含四氯化硅、氢气、少量三氯氢硅和二氯二氢硅，直接接入后续生产工序的氢化反应装置内