外接投料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106400105A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201611020224.4(22)申请日2016.11.17(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213000江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人蒋新民庄卫华周益华徐罗清(74)专利代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258代理人郑云(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称外接投料装置(57)摘要本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种外接投料装置，包括机架及设置在机架上的投料桶，还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀，投料桶固定连接在机架上端，机架上位于旋板阀和投料桶之间滑动设置有基座，基座上设有连接板，连接板与旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管，投料桶与连接板之间设有第二波纹管，第一波纹管和第二波纹管之间相互连通，第一波纹管内套设有石英管，石英管的一端固定连接在连接板上；机架上位于旋板阀和投料筒之间固定连接有导轨，本发明结构简单，操作方便，能够快速控制石英管的伸出或者收缩，反复对单晶炉进行投料，提高了投料的效率。CN106400105ACN106400105A权利要求书1/1页1.一种外接投料装置，包括机架(1)及设置在机架(1)上的投料桶(2)，其特征在于：还包括固定在机架(1)下端的用于连接单晶炉(3)的旋板阀(4)，所述投料桶(2)固定连接在所述机架(1)上端，所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和所述投料桶(2)之间滑动设置有基座(5)，所述基座(5)上设有连接板(6)，所述连接板(6)与所述旋板阀(4)之间设有可收缩的第一波纹管(7)，所述投料桶(2)与所述连接板(6)之间设有与投料桶(2)连通的第二波纹管(8)，所述第一波纹管(7)和第二波纹管(8)之间相互连通，所述投料桶(2)具有上端进料口及下端出料口，所述投料桶(2)上端进料口上设有密封盖(9)，所述投料桶(2)下端进料口和第二波纹管(8)之间相互连通，所述第一波纹管(7)内套设有石英管(10)，所述石英管(10)的一端固定连接在所述连接板(6)上；所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间固定连接有导轨(11)，所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间转动设置有丝杆(12)，所述基座(5)滑动设置在所述导轨(11)上，所述基座(5)与所述丝杆(12)螺纹连接，所述丝杆(12)的一端设有用于驱动丝杆(12)转动的电机(15)，所述电机(15)固定连接在所述机架(1)上。2.根据权利要求1所述的外接投料装置，其特征在于：所述投料桶(2)下端出料口设置有用于控制投料桶(2)与第二波纹管(8)连通的插板阀(13)。3.根据权利要求1-2的任一项所述的外接投料装置，其特征在于：所述投料桶(2)上设置头压力表(14)。2CN106400105A说明书1/3页外接投料装置技术领域[0001]本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种外接投料装置。背景技术[0002]单晶硅直拉法生长过程中，多晶硅原材料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶。单晶炉拉晶完成后，单晶炉不能与空气接触，不然会造成单晶炉碎裂而无法使用，准备新一炉的生产需要做很多繁杂的前期工作，包括停炉冷却、清炉、卸料、抽真空和化料等工序，这些前期工作浪费了大量的时间和能耗。单晶炉在一次硅单晶拉制完成后，可以使用外部连接投料装置，继续投入多晶硅片，以便拉制多根晶棒。[0003]通常的外部连接投料装置体积比较大，安装比较费时费力，不能有效的反复转移并投料，降低了投料效率。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是：为了解决通常的外部连接投料装置体积比较大，安装比较费时费力，不能有效的反复转移并投料，降低了投料效率的问题，现提供了一种外接投料装置。[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种外接投料装置，包括机架及设置在机架上的投料桶，还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀，所述投料桶固定连接在所述机架上端，所述机架上位于所述旋板阀和所述投料桶之间滑动设置有基座，所述基座上设有连接板，所述连接板与所述旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管，所述投料桶与所述连接板之间设有与投料桶连通的第二波纹管，所述第一波纹管和第二波纹管之间相互连通，所述投料桶具有上端进料口及下端出料口，所述投料桶上端进料口上设有密封盖，所述投料桶下端进料口和第二波纹管之间相互连通，所述第一波纹管内套设有石英管，所述石英管的一端固定连接在所述连接板上；[0006]所述机架上位于所述旋板阀和投料筒之间固定连接有导轨，