一种单晶炉石英导流筒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106521616A(43)申请公布日2017.03.22(21)申请号201611143546.8(22)申请日2016.12.13(71)申请人宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司地址721000陕西省宝鸡市高新五路财富大厦A座1709室(72)发明人洪亚丽姜树炎(74)专利代理机构深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357代理人徐炫(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种单晶炉石英导流筒(57)摘要本发明公开了一种单晶炉石英导流筒，设有石英内筒和内筒支架，所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁，所述石英内筒的内壁设有铱层，所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层；所述石英内筒为圆锥体，所述石英内筒的上端边缘设有裙边；所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台；所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕；所述铱层设置于所述光滑内表面上；所述内筒支架为埚形，所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台，所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上；所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩；在单晶硅生长过程中，导流筒具有较高的强度与隔热性，在高温条件下具有较高的抗裂性和抗震性。CN106521616ACN106521616A权利要求书1/1页1.一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，设有石英内筒和内筒支架，所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁，所述石英内筒的内壁设有铱层，所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层；所述石英内筒为圆锥体，所述石英内筒的上端边缘设有裙边；所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台；所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕；所述铱层设置于所述光滑内表面上；所述内筒支架为埚形，所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台，所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上；所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩。2.根据权利要求1所述一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，所述裙边为所述石英内筒的上端边缘一周，所述裙边带有密封沟槽，所述裙边宽度大约在5cm左右。3.根据权利要求1所述一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，所述凹台为四个，所述凹台分别设置在所述石英内筒的上端和下端的左右两侧。4.根据权利要求1所述一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，所述凸台为四个，所述凸台分别设置在所述内筒支架的上端和下端的左右两侧。5.根据权利要求1所述一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，所述保温层为高纯石墨保温毡。6.根据权利要求1所述一种单晶炉石英导流筒，其特征在于，所述内筒支架的上部设有固定件，通过所述固定件对导流筒进行定位和固定。2CN106521616A说明书1/3页一种单晶炉石英导流筒技术领域[0001]本发明涉及到机械领域，尤其涉及到一种单晶炉石英导流筒。背景技术[0002]硅单晶炉拉制硅单晶的过程中，在保护气体氩气或氮气保护中，石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的石英坩埚进行加热，使坩埚中的多晶硅原料熔化，并达到工艺引晶要求。此时，单晶硅晶种通过导流筒直接插入到熔融的多晶硅的溶液里，逐步引导石英坩埚内的熔融多晶硅溶液按照单晶硅晶种的原子排列方式进行结晶，生长出新的硅单晶体。[0003]目前硅单晶炉内使用的导流筒主要采用高纯石墨与石墨保温材料的组合或C/C复合材料制备而成。在使用的过程中主要对高温保护气体起到导流作用。这就要求制作导流筒所需的材料不但要能有耐高温的性能，还需要具有一定的韧性及抗氧化性能。引晶及生长的过程中要具备一定的保温隔热性能和抗裂性能，保证导流筒内单晶硅棒与熔融的多晶硅原料之间的温度差。[0004]现有技术主要存在以下缺点：1、导流筒加工材料使用的是高纯石墨及石墨保温材料或C/C复合材料加工而成，材料本身存在一定的杂质，在高温条件下，杂质会挥发出来，影响单晶体的纯度；2、石墨材料虽然能耐高温，但是其韧性和抗氧化的性能较差，在高温环境中石墨会变得越来越硬，发挥出其抗压特性，但韧性逐步降低，且容易与炉内残留氧气发生氧化；3、石墨制品在保温和隔热方面的性能比较差，高温条件下的使用寿命也比较短。为了保证导流筒内单晶硅棒与熔融的多晶硅原料之间的温度差，现在普遍引进冷却管通水对导流筒进行冷却，但这会带来巨大的隐形事故，一旦冷却水管破裂，炉内压力迅速上升，炉子有爆炸的可能。[0005]4、大尺寸的导流筒加工周期长，耗材多，成本高，加工困难，不利于设备在生产过程中随工艺的调整而做相应的部件调整；因此现有技术存在缺陷，需要改进。发明内容[0006]本发明所要解决的技术问题是提供一种单晶炉石英导流筒。[0007]为实现上述目的，本发明所采