一种单晶炉导流筒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109554749A(43)申请公布日2019.04.02(21)申请号201811403311.7(22)申请日2018.11.23(71)申请人郭靖地址211700江苏省淮安市盱眙经济开发区梅花大道37-2号(72)发明人郭靖(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种单晶炉导流筒(57)摘要本发明公开一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽，所述的外筒、内同为圆台形，所述的外筒底部直径小于顶部直径，所述的内筒底部直径小于顶部直径，所述的凸起与内筒采用焊接结构，所述的凹槽与内筒采用焊接结构，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接，所述凸起的长度大于凹槽的长度。CN109554749ACN109554749A权利要求书1/1页1.一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，其特征在于：所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。2.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的外筒、内同为圆台形。3.如权利要求1，2所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的外筒底部直径小于顶部直径。4.如权利要求1，2所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的内筒底部直径小于顶部直径。5.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的凸起与内筒采用焊接结构。6.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的凹槽与内筒采用焊接结构。7.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接。8.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述凸起的长度大于凹槽的长度。2CN109554749A说明书1/2页一种单晶炉导流筒技术领域[0001]本发明涉及单晶体制备领域，具体涉及一种单晶炉导流筒。背景技术[0002]当前，单晶炉导流筒普遍由石墨制成，并分为内外两层。它在单晶硅棒拉制过程中，起着高温气体导流的作用，这既要求其具有良好的耐热性能和力学性能，又要求它具有一定的保温性能，以保持导流筒内单晶硅棒区与熔融的多晶硅液区的温差。但是，由于石墨本身的强度较低，其抗折强度约为13MPa左右，在导流过程中，外层导流筒极有可能发生断裂坠埚现象，这就会导致埚内的原料硅液报废，并影响直拉生产的继续进行，从而产生极大的浪费。发明内容[0003]本发明针对现有技术的不足之处，提供一种单晶炉导流筒。[0004]本发明解决现有技术问题的方案是：一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。[0005]上述方案的优选，所述的外筒、内同为圆台形。[0006]上述方案的优选，所述的外筒底部直径小于顶部直径。[0007]上述方案的优选，所述的内筒底部直径小于顶部直径。[0008]上述方案的优选，所述的凸起与内筒采用焊接结构。[0009]上述方案的优选，所述的凹槽与内筒采用焊接结构。[0010]上述方案的优选，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接。[0011]上述方案的优选，所述凸起的长度大于凹槽的长度。[0012]采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本发明在内外层导流筒上分别设有凸起和凹槽，凸起和凹槽通过嵌合方式连接，当外层导流筒发生断裂时，其凹槽可以咬住内层导流筒的凸起，从而避免坠埚，保证原料硅液不受污染以及直拉生产的继续进行。附图说明[0013]图1为本发明的结构示意图；[0014]图2是本发明的外层导流筒的结构示意图；[0015]图3是本发明的内层导流筒的结构示意图；[0016]图中：1、外筒；2、内筒；3、凹槽；4、凸起。具体实施方式[0017]下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。[0018]如图1，2，3所示，一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽，所述的外筒、内同为圆台形，所述的外筒底部直径小于顶部直径，所述的内筒3CN109554749A说明书2/2页底部直径小于顶部直径，所述的凸起与内筒采用焊接结构，所述的凹槽与内筒采用焊接结构，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接，所述凸起的长度大于凹槽的长度。[0019]对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。4CN109554749A说明书附图1/2页图1图25CN109554749A说明书附图2/2页图36