包覆工具的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106661716A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201580040994.2(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通(22)申请日2015.07.06合伙)11277代理人刘新宇李茂家(30)优先权数据2014-1574772014.08.01JP(51)Int.Cl.2015-0643692015.03.26JPC23C14/06(2006.01)B21D37/01(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B21D37/20(2006.01)2017.01.23B23B27/14(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据B23B27/20(2006.01)PCT/JP2015/0694012015.07.06C23C14/02(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据C23C14/32(2006.01)WO2016/017375JA2016.02.04(71)申请人日立金属株式会社地址日本东京都(72)发明人沙勒·阿布苏里克权利要求书1页说明书15页附图2页(54)发明名称包覆工具的制造方法(57)摘要本发明涉及能够使高硬度的DLC覆膜在确保优异的密合性的基础上形成为厚膜的包覆工具的制造方法。一种包覆工具的制造方法，其为利用过滤电弧离子镀法在基材的表面形成类金刚石碳覆膜的包覆工具的制造方法，包括以下工序：第1工序：将施加于前述基材的负偏压设为-2500V以上且-1500V以下，向炉内导入含氢气的混合气体，对前述基材的表面进行气体轰击处理；以及第2工序：在前述气体轰击处理后向前述炉内导入氮气，向石墨靶投入电流，从而在前述基材的表面形成类金刚石碳覆膜，在前述第2工序中，包括：使前述氮气的流量减少的工序；和使向前述石墨靶投入的前述电流增加的工序。CN106661716ACN106661716A权利要求书1/1页1.一种包覆工具的制造方法，其特征在于，其为利用过滤电弧离子镀法在基材的表面形成类金刚石碳覆膜的方法，所述包覆工具的制造方法包括以下工序：第1工序：将施加于所述基材的负偏压设为-2500V以上且-1500V以下，向炉内导入含氢气的混合气体，对所述基材的表面进行气体轰击处理；以及第2工序：在所述气体轰击处理后向所述炉内导入氮气，向石墨靶投入电流，从而在所述基材的表面形成类金刚石碳覆膜，在所述第2工序中，包括：使所述氮气的流量减少的工序；和使向所述石墨靶投入的电流增加的工序。2.根据权利要求1所述的包覆工具的制造方法，其特征在于，所述类金刚石碳覆膜的膜厚为2.0μm以上。3.根据权利要求1或2所述的包覆工具的制造方法，其特征在于，在使向所述石墨靶投入的电流增加的工序中，使向所述石墨靶投入的电流增加总计40A以上。2CN106661716A说明书1/15页包覆工具的制造方法技术领域[0001]本发明涉及可以在例如冲压加工用或锻造用的模具、锯片等切割工具、以及钻头等切削工具等中使用的包覆工具，涉及形成有类金刚石碳覆膜(以下也称为“DLC覆膜”)的包覆工具的制造方法。背景技术[0002]用模具对铝、铜和树脂等被加工材料进行成形加工时，由于部分被加工材料附着于模具的表面上，因此有时会产生卡挂、划痕等产品异常。为了解决这种问题，应用一种在模具的表面形成有DLC覆膜的包覆模具。实质上不含有氢的DLC覆膜(Tetrahedralamorphouscarbon覆膜：ta-C覆膜)因高硬度且耐磨性优异，而被广泛地用于包覆模具。[0003]然而，实质上不含有氢的高硬度的DLC覆膜是通过利用了石墨靶的电弧离子镀法形成的，被称为熔滴(droplet)的大小为几微米的颗粒(石墨球)会不可避免地混入至DLC覆膜，从而使DLC覆膜的表面粗糙度恶化。[0004]对于这样的问题，在专利文献1中公开了通过应用具备收集熔滴的机构的过滤电弧离子镀法(FilteredArcIonPlating)，从而能够形成平滑且高硬度的实质上不含有氢的DLC覆膜。[0005]现有技术文献[0006]专利文献[0007]专利文献1：日本特开2008-297171号公报发明内容[0008]发明要解决的问题[0009]如专利文献1那样的、通过过滤电弧离子镀法形成时，能够达成高硬度且平滑的表面状态的DLC覆膜。然而，高硬度的DLC覆膜存在缺乏密合性的倾向，存在仅应用过滤电弧离子镀法难以达成可满足的密合性的倾向。[0010]另外，为了在严苛的使用环境下进一步提高包覆工具的耐久性，要求将高硬度的DLC覆膜进一步制成厚膜。然而，为了形成厚膜的DLC覆膜而延长成膜时间时，电弧放电容易为不稳定，难以使高硬度的DLC覆膜在确保优异的密合性的基础上制成厚膜。[00