一种改进的单晶炉结构及其应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106987897A(43)申请公布日2017.07.28(21)申请号201710293347.3(22)申请日2017.04.28(71)申请人西安创联新能源设备有限公司地址710065陕西省西安市电子城电子西街3号(72)发明人时刚武海军(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种改进的单晶炉结构及其应用(57)摘要本发明提供了一种改进的单晶炉结构及其应用，包括一种改进的单晶炉结构，其包含一底座，该底座上设置有主炉室，所述主炉室的下方设置有下传动机构；炉盖，设置在主炉室的上方，炉盖上方设置有第一隔离阀以及炉盖处设置有炉盖提升机构；所述炉盖提升机构由液压油缸驱动，一立柱，该立柱设置在底座上，所述立柱的顶部设置有维修平台，其中间部分通过机架固定有副炉室，所述副炉室的底部设置有第二隔离阀，所述副炉室的上部设置有上传动机构。以及本发明还提供了一种应用，包含用于缩短晶棒生产周期的方法，通过对第一隔离阀和第二隔离阀的控制，配合移动加料器的应用，可以在冷却晶棒的同时实现二次加料和熔化，有效利用冷却晶棒的时间，从而提高生产效率。CN106987897ACN106987897A权利要求书1/1页1.一种改进的单晶炉结构，其特征在于，包括一底座，该底座上设置有主炉室，所述主炉室的下方设置有下传动机构；炉盖，设置在主炉室的上方，所述炉盖上方设置有第一隔离阀以及所述炉盖处设置有炉盖提升机构；所述炉盖提升机构由液压油缸驱动，一立柱，该立柱设置在底座上，所述立柱的顶部设置有维修平台，其中间部分通过机架固定有副炉室，所述副炉室的底部设置有第二隔离阀，所述副炉室的上部设置有上传动机构。2.根据权利要求1所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述液压油缸驱动其上方设置的炉盖提升机构以及副炉室提升机构，所述副炉室提升机构与所述副炉室固定，由液压油缸驱动炉盖提升机构以及副炉室提升机构动作，实现炉盖与副炉室的提升与旋转。3.根据权利要求1所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述底座的一侧设置有操作台架，该操作台架的上方设置有移动投料器，所述移动投料器与炉盖上面的第一隔离阀对接，其在不打开炉盖时实现二次投料。4.根据权利要求3所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述移动投料器上设置有加料器。5.根据权利要求1所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述主炉室内设置有热场和坩埚，所述坩埚与主炉室的下方设置的下传动机构对接，所述下传动机构为坩埚的升降及旋转装置。6.根据权利要求1所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述副炉室用于晶棒的生长，所述上传动机构用于实现晶棒的提拉和旋转。7.根据权利要求1所述的改进的单晶炉结构，其特征在于，所述底座的一侧设置有爬梯，所述爬梯用于与维修平台对接。8.一种应用，包含用于缩短晶棒生产周期的方法，其特征在于，包括权利要求1～7任意一项的改进的单晶炉结构。9.根据权利要求8所述的应用，其特征在于，所述用于缩短晶棒生产周期的方法包括如下步骤：当晶棒在主炉室生长完后，由下传动机构将将晶棒升至副炉室，同时关闭炉盖和副炉室下面的第一隔离阀，通过切换氩气供气管路，使主炉室内和副炉室内的压力保持不变，运行副炉室提升机构将带着晶棒的副炉室提起来并旋开，让出炉盖及第一隔离阀上端的空间，将移动加料器与炉盖和第一隔离阀对接，打开炉盖及第一隔离阀，然后将加料器里的多晶硅料投入坩埚，其冷却晶棒时将后续投入的硅料熔化，从而节约整个工艺时间。2CN106987897A说明书1/3页一种改进的单晶炉结构及其应用技术领域[0001]本发明涉及一种单晶炉结构，尤其是一种改进的单晶炉结构及其应用。背景技术[0002]单晶炉的工作原理是将多晶硅原料投入坩埚中，装在炉腔内，真空泵将主炉室内抽成真空然后持续通入保护气体氩气，通过控制真空泵前端调节阀的开度将炉内压力维持在1300～2600Pa，将多晶硅原料加热熔化后，从上传动底部有钢丝绳将单晶的晶种(籽晶)下放至液面，保证籽晶与液面接触，缓慢降温，籽晶同时在做提拉和旋转运动，多晶硅熔体围绕籽晶不断长大，最终长成圆柱形状的单晶硅棒，晶棒通常需要在炉腔内冷却约6小时才能才能取出，取出晶棒后再进行下一炉投料生产，冷却晶棒的工艺时间白白浪费掉了。发明内容[0003]有鉴于此，本发明的主要目的就在于提供一种改进的单晶炉结构及其应用。[0004]为了解决上述问题，本发明提供了一种改进的单晶炉结构，包括[0005]一底座，该底座上设置有主炉室，所述主炉室的下方设置有下传动机构；[0006]炉盖，设置在主炉室的上方，所述炉盖上方设置有第