一种抗光衰炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107046081A(43)申请公布日2017.08.15(21)申请号201710131975.1(22)申请日2017.03.07(71)申请人东莞市科隆威自动化设备有限公司地址523000广东省东莞市寮步镇石步村石大路(72)发明人苏金财王军涛何凤涛(74)专利代理机构深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙)44351代理人韩绍君(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称一种抗光衰炉(57)摘要本发明公开一种抗光衰炉，包括炉支架和多个恒流源，炉支架上设有循环输送硅片的输送装置，炉支架沿所述输送装置入料端至出料端依次设有预热区、光照区和冷却区，光照区的正上方设有若干组并排设置的LED灯光照模组，每组LED灯光照模组由多个具有水冷作用的LED灯条组成，每个LED灯条均由一个恒流源独立控制。一个恒流源独立控制一个LED灯条，使LED灯条具有超高光照强度的同时，又可以控制其发热的温度，使LED灯条在一个恒定的温度下工作。硅片进入本抗光衰炉的过程中，经过多组LED灯光照模组的强光照射，硅片氢钝化效果明显。CN107046081ACN107046081A权利要求书1/2页1.一种抗光衰炉，其特征在于，包括炉支架和多个恒流源，所述炉支架上设有循环输送硅片的输送装置，所述炉支架沿所述输送装置入料端至出料端依次设有预热区、光照区和冷却区，所述光照区的正上方设有若干组并排设置的LED灯光照模组，每组所述LED灯光照模组由多个具有水冷作用的LED灯条组成，每个所述LED灯条均由一个所述恒流源独立控制。2.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述炉支架位于所述光照区的位置设有炉腔，所述炉腔的空腔内侧壁上间隔设有多个风孔，所述炉腔的下腔设有辅助加热装置，所述炉腔的正上方与所述LED灯光照模组之间采用透光的隔板隔开。3.根据权利要求2所述的抗光衰炉，其特征在于，所述输送装置包括设置在炉支架左右两端的滚筒，其中一个所述滚筒由电机驱动，两个所述滚筒采用金属网状输送带连接，所述金属网状输送带带动硅片依次经过预热区、光照区和冷却区，硅片经过所述预热区时的预热温度在200℃～500℃，硅片经过所述光照区时，所述LED灯光照模组对硅片进行光照处理，所述炉腔的温度降低到一定程度时，所述辅助加热装置对炉腔进行辅助加热。4.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述炉支架上设有总循环水管进和总循环水管出，每组所述LED灯光照模组由四个具有水冷作用的LED灯条组成，四个LED灯条上均设有进水口和出水口，四个LED灯条的进水口和出水口依次连通，一个LED灯条的进水口连通总循环水管进，一个LED灯条的出水口连通总循环水管出。5.根据权利要求4所述的抗光衰炉，其特征在于，所述LED灯条包括LED灯散热水箱，该LED灯散热水箱中的LED灯的电流电压由恒流源调节控制，所述LED灯散热水箱的正面一端设有用于连接正电极座的正电极安装孔，所述LED灯散热水箱的正面另一端设有用于连接负电极座的负电极安装孔，所述正电极座连接所述恒流源的正电极，所述负电极座连接所述恒流源的负电极，所述LED灯散热水箱的正面采用液态金属焊接的方式连接有一金属电路板，所述金属电路板的表面装有测温探头，所述测温探头与所述恒流源电连接，所述LED灯散热水箱的背面设有进水口和出水口，所述金属电路板的表面间隔设有若干个LED芯片。6.根据权利要求5所述的抗光衰炉，其特征在于，所述LED灯散热水箱的空腔内对应所述LED灯散热水箱的背面一侧间隔设有多片散热翅片，每片所述散热翅片沿所述LED灯散热水箱的长度方向上延伸、并与所述LED灯散热水箱的空腔长度相同。7.根据权利要求5所述的抗光衰炉，其特征在于，每片所述散热翅片的高度相同，所述散热翅片的高度小于所述LED灯散热水箱的空腔的高度，所述LED灯散热水箱的两端分别设有用于连接L形支架的支架连接孔，所述LED灯散热水箱为铝构件，所述金属电路板为铜构件。8.根据权利要求1所述的抗光衰炉，其特征在于，所述恒流源内设有核心电路板、前整流板、后整流板、电源板、风扇电源板、接口板、驱动板和控制面板，所述前整流板、后整流板、电源板、风扇电源板、接口板、驱动板和控制面板均与所述核心电路板连接，所述电源板输入220V交流电压经过前整流板整流成310V直流电、并输出至LC串联谐振逆变电路转换成20KHZ交流电，再经过电感和电解电容转换成直流电输出。9.根据权利要求8所述的抗光衰炉，其特征在于，所述控制面板上设有温度显示器、电压显示器、电流显示器、功率显示器、用于调节电压的电压调节器和用于调节电流的电流调节器，所述控制面板上还设有电源开关；2C