一种太阳能硅晶片抗光衰设备及抗光衰处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112490163A(43)申请公布日2021.03.12(21)申请号202011203226.3(22)申请日2020.11.02(71)申请人宁波初创产品设计有限公司地址315153浙江省宁波市海曙区石碶街道万顺路83号(72)发明人徐建方王凤连王莉霞(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书4页说明书11页附图8页(54)发明名称一种太阳能硅晶片抗光衰设备及抗光衰处理方法(57)摘要本发明涉及太阳能硅晶片生产技术领域。一种太阳能硅晶片抗光衰设备，包括工作台和固定在工作台上的硅晶片上料装置、硅晶片输送装置、光衰炉和下料装置；硅晶片上料装置输入端和输出端分别与硅晶片上料口和硅晶片输送装置输入端相衔接；硅晶片输送装置输出端与光衰炉进料口相连接，光衰炉出料口与下料装置进料端相连接；下料装置出料端与下料工位相衔接。该设备通过设置硅晶片上料装置、硅晶片输送装置、光衰炉和下料装置实现太阳能硅晶片的自动加工流转，提高整个设备的自动化程度。CN112490163ACN112490163A权利要求书1/4页1.一种太阳能硅晶片抗光衰设备，其特征在于，该设备包括工作台和固定在工作台上的硅晶片上料装置（1）、硅晶片输送装置（2）、光衰炉（3）、下料装置（4）和治具回流装置（5）；硅晶片上料装置（1）输入端和输出端分别与硅晶片上料口和硅晶片输送装置（2）输入端相衔接；硅晶片输送装置（2）输出端与光衰炉进料口相连接，光衰炉出料口与下料装置进料端相连接；下料装置出料端与下料工位相衔接；硅晶片上料装置（1）用于太阳能硅晶片的上料；硅晶片输送装置（2）用于将太阳能硅晶片输送至光衰炉进料口；光衰炉用于模拟日光照射使太阳能硅晶片产生光衰效果；下料装置用于将光衰后的太阳能硅晶片下料；治具回流装置（5）连接硅晶片上料装置（1）和下料装置（4）；硅晶片上料装置（1）包括上料输送带（11）、硅晶片限位机构（12）和硅晶片搬移机构（13）；上料输送带（11）和硅晶片限位机构（12）都固定在工作台上，上料输送带（11）输出端与太阳能硅晶片下表面相接触；硅晶片限位机构（12）输出端与太阳能硅晶片两端面相接触；硅晶片搬移机构（13）输出端与太阳能硅晶片上表面相接触，并且硅晶片搬移机构（13）输出端分别与上料输送带（11）和硅晶片输送装置（2）输入端相衔接；上料输送带（11）用于传输太阳能硅晶片；硅晶片限位机构（12）用于对不同宽度的太阳能硅晶片进行输送定位；硅晶片搬移机构（13）用于将太阳能硅晶片搬移至硅晶片输送装置（2）中；硅晶片输送装置（2）包括治具上料机构（21）和治具缓存机构（22）；治具上料机构（21）和治具缓存机构（22）都固定在工作台上，治具上料机构（21）输入端与硅晶片上料装置（1）输出端相衔接，并且治具上料机构（21）输出端与治具缓存机构（22）输入端相衔接；治具缓存机构（22）输出端与光衰炉进料口相连接；治具上料机构（21）用于对太阳能硅晶片进行定位并且输送；治具缓存机构（22）用于将输送的多余治具进行缓存后输出至下一工位。2.根据权利要求1所述一种太阳能硅晶片抗光衰设备，其特征在于，硅晶片限位机构（12）包括限位机架（14）、限位电机（15）、限位滚轴（16）、第一限位头（17）和第二限位头（18）；限位电机（15）输出端与限位滚轴（16）相连接，并且限位滚轴（16）与限位机架（14）转动配合；第一限位头（17）和第二限位头（18）都包括限位连杆（171）、限位导轨滑块（172）和限位夹块（173）；限位连杆（171）一端与限位滚轴（16）偏心铰接，限位连杆（171）另一端与限位夹块（173）相铰接；限位导轨滑块（172）中的导轨固定在限位机架（14）上，限位导轨滑块（172）中的滑块与限位夹块（173）相连接，并且限位夹块（173）输出端与太阳能硅晶片侧端面相接触；限位电机（15）用于驱动限位滚轴（16）转动；限位滚轴（16）用于带动第一限位头（17）和第二限位头（18）直线运动；限位夹块（173）用于对不同宽度的太阳能硅晶片进行传输限位。3.根据权利要求2所述一种太阳能硅晶片抗光衰设备，其特征在于，限位滚轴（16）包括限位芯轴（161）、上限位滚轮（162）和下限位滚轮（163）；限位芯轴（161）与限位机架（14）转动配合，上限位滚轮（162）和下限位滚轮（163）分别固定在限位芯轴（161）上下方；上限位滚轮（162）与第二限位头（18）中的限位连杆（171）相偏心铰接，下限位滚轮（163）与第一限位头（17）中的限位连杆（171）相偏心铰接；下限位滚轮（163）为带轮，并且下限位滚轮（163）与限位电