硅烷废气焚烧净化系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107091480A(43)申请公布日2017.08.25(21)申请号201710444939.0(22)申请日2017.06.12(71)申请人南京博纳能源环保科技有限公司地址211048江苏省南京市沿江工业开发区博富路9号(72)发明人端午祥赵娟赵忠良张龑(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人杨海军(51)Int.Cl.F23G7/06(2006.01)F23J15/00(2006.01)F23J15/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称硅烷废气焚烧净化系统(57)摘要本发明公开了一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括依次连接的焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)。焚烧炉(2)前端安装有燃烧器(1)。本发明结构设计合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。CN107091480ACN107091480A权利要求书1/1页1.一种硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，它包括焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)。焚烧炉(2)尾部与多管除尘器(3)进气口相连，多管除尘器(3)出气口与布袋除尘器(4)进气口相连，布袋除尘器(4)出气口与风机(5)进风口相连，风机(5)出风口与烟囱(6)相连。2.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述焚烧炉(2)前端的中心轴线上水平安装有燃烧器(1)，所述的燃烧器(1)上开设有硅烷气入口(1-1)，助燃煤气入口(1-2)，助燃风入口(1-3)和惰性气入口(1-4)。3.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的焚烧炉(2)为卧式双炉壳结构，由内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)嵌套构成燃烧室(2-4)、混合室(2-5)和夹套层(2-6)。4.根据权利要求3所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的外炉壳(2-2)前端设有冷却风入口(2-7)。5.根据权利要4所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)前端面板重合，内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)同中心轴。6.根据权利要求1-5所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)之间设有旋流片(2-3)，旋流片(2-3)位于内炉壳(2-1)尾部，呈圆周均匀分布。2CN107091480A说明书1/3页硅烷废气焚烧净化系统技术领域[0001]本发明涉及一种硅烷废气焚烧系统，具体的说是一种用于电池、微电子、光电子工业的硅烷废气处理净化系统。背景技术[0002]硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。发明内容[0003]发明目的：本发明的目的是提供一种硅烷废气焚烧净化系统，结构设计合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。[0004]技术方案：为了实现以上目的，本发明采用如下技术方案：[0005]一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括焚烧炉、多管除尘器、布袋除尘器、风机和烟囱。[0006]作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉尾部与多管除尘器进气口相连，多管除尘器出气口与布袋除尘器进气口相连，布袋除尘器出气口与风机进风口相连，风机出风口与烟囱相连。[0007]作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉前端中心轴线上水平安装燃烧器，所述的燃烧器上设有硅烷气入口，助燃煤气入口，助燃风入口和惰性气入口；突发状况下用惰性气进行吹扫，更安全可靠。[0008]作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉为卧式双炉壳结构，由内炉壳和外炉壳嵌套构成内炉壳内部的燃烧室、外炉壳后端部的混合室和内炉壳和外炉壳之间的夹套层。所述的外炉壳前端设有冷却风入口。夹套层及夹套层内的冷却风同时冷却内炉壳和外炉壳，取代耐火材料和保温材料，降低成本。另外，没有耐火材料，启炉停炉的时候无需温度保护，可急停急启，便于应对突发状况，增加操作灵活度。燃烧室可保证硅烷废气焚烧完全，焚烧产生的烟气进入