一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107523867A(43)申请公布日2017.12.29(21)申请号201710961981.X(22)申请日2017.10.16(71)申请人镇江环太硅科技有限公司地址212200江苏省镇江市扬中市油坊镇新材料工业园区(72)发明人陈松松路景刚(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256代理人任立(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器(57)摘要本发明公开了一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，涉及光伏设备铸锭技术领域，包括顶加热器和侧加热器，侧加热器包括均呈方形的上层侧加热器和下层侧加热器，上层侧加热器与顶加热器并联组成上层并联单元，下层侧加热器独立控制，顶加热器与上层侧加热器之间设有连接的上层侧三向吊臂，下层侧加热器与上层侧加热器之间设有连接的下层侧吊臂，下层侧吊臂与上层侧加热器在交叠位置设有用以隔离两者的绝缘垫片。本发明将上层侧加热器与顶加热器组成并联单元，下层侧加热器独立控制，侧加热器分为两层加热，两层之间的间距可调，从而可有效控制上下温度梯度，消除阴影；在长晶后期，可单独控制下层侧加热器关闭，从而减少能源损耗。CN107523867ACN107523867A权利要求书1/1页1.一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，包括顶加热器（1）和侧加热器（2），其特征在于：所述侧加热器（2）包括均呈方形的上层侧加热器（201）和下层侧加热器（202），所述上层侧加热器（201）与顶加热器（1）并联组成上层并联单元，所述下层侧加热器（202）独立控制，所述顶加热器（1）与上层侧加热器（201）之间设有连接的若干上层侧三向吊臂（3），所述下层侧加热器（202）与上层侧加热器（201）之间设有连接的若干下层侧吊臂（4），所述下层侧吊臂（4）与上层侧加热器（201）在交叠位置设有用以隔离两者的绝缘垫片。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）的相电流IT与上层侧加热器（201）的相电流IS-UP的关系满足0.3IT<IS-UP<2IT，所述下层侧加热器（202）的相电流随热场调整。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）顶部与上层侧加热器（201）顶部之间的垂直距离d1>10mm，所述上层侧加热器（201）中心与下层侧加热器（202）顶部之间的垂直距离d2>0mm。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述上层并联单元采用三相三电极连接、两相两电极连接、三向四电极连接中的任意一种连接方式。5.根据权利要求4所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述下层侧加热器（202）采用三相三电极连接、两相两电极连接、三相四电极连接中的任意一种连接方式。6.根据权利要求5所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述上层并联单元与下层侧加热器（202）之间采用三相三电极连接、两相两电极连接、三向四电极连接中的任意一种连接方式。7.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述绝缘垫片采用氧化锆陶瓷片、氮化硼陶瓷片、氧化铝陶瓷片中的任意一种。8.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）包括呈旋转对称的三片蛇形电阻片（1a），所述上层侧加热器（201）与下层侧加热器（202）均包括四片蛇形侧加热器单体（2a）和四片蛇形连接角板（2b），所述蛇形侧加热器单体（2a）具有均匀的蛇形周期，所述蛇形连接角板（2b）的蛇形周期与蛇形侧加热器单体（2a）的单个周期相同，所述蛇形连接角板（2b）连接相邻蛇形侧加热器单体（2a），所述上层侧三向吊臂（3）设置三个且剖面呈“7”字型，其水平凸出部位的两端分别连接相邻蛇形电阻片（1a），其竖直延伸部位的末端连接上层侧加热器（201）的蛇形侧加热器单体（2a）。9.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的分层式侧加热器，其特征在于：所述顶加热器（1）包括呈旋转对称的三片蛇形电阻片（1a），所述上层侧加热器（201）与下层侧加热器（202）均包括四片板状侧加热器单体（2c）和四片折弯连接角板（2d），所述折弯连接角板（2d）连接相邻板状侧加热器单体（2c），所述上层侧三向吊臂（3）设置三个且剖面呈“7”字型，其水平凸出部位的两端分别连接相邻蛇形电阻片（1a），其竖直延伸部位的末端连接上层侧加热器（201）的板状侧加热器单体（2c）。10.根据权利要求8或9所述的一种多晶硅铸锭炉