真空热压炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107869909A(43)申请公布日2018.04.03(21)申请号201610850176.5(22)申请日2016.09.26(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号(72)发明人姚力军潘杰相原俊夫王学泽王科(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人高静吴敏(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27B5/06(2006.01)F27B5/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称真空热压炉(57)摘要本发明提供一种真空热压炉，包括：炉体系统，包括炉体；真空系统，用于对所述炉体进行抽真空，所述真空系统包括机械泵、以及与所述机械泵相连的充气阀；控制系统，与所述真空系统相连，用于控制所述机械泵开启时，所述充气阀关闭；还用于在收到机械泵关闭指令时，控制所述机械泵延迟预设时间关闭，且在所述预设时间内开启所述充气阀，向所述机械泵内充入大气。本发明所述真空热压炉的真空系统包括机械泵以及与机械泵相连的充气阀，通过控制系统实现在关闭机械泵时自动开启充气阀以自动向机械泵内充入大气的作用，相比手动打开充气阀的方案，可以防止人为原因导致设备出现故障的问题。CN107869909ACN107869909A权利要求书1/1页1.一种真空热压炉，其特征在于，包括：炉体系统，包括炉体；真空系统，用于对所述炉体进行抽真空，所述真空系统包括机械泵、以及与所述机械泵相连的充气阀；控制系统，与所述真空系统相连，用于控制所述机械泵开启时，所述充气阀关闭；还用于在收到机械泵关闭指令时，控制所述机械泵延迟预设时间关闭，且在所述预设时间内开启所述充气阀，向所述机械泵内充入大气。2.如权利要求1所述的真空热压炉，其特征在于，所述充气阀设置于所述机械泵上。3.如权利要求1所述的真空热压炉，其特征在于，所述真空系统还包括罗茨泵，所述罗茨泵一端与所述炉体相连，另一端通过管道与所述机械泵相连。4.如权利要求3所述的真空热压炉，其特征在于，所述充气阀设置于所述罗茨泵和机械泵之间的管道上。5.如权利要求1所述的真空热压炉，其特征在于，所述预设时间为20秒至40秒。6.如权利要求1所述的真空热压炉，其特征在于，达到预设时间后，所述控制系统控制所述充气阀关闭，且所述机械泵内达到常压状态。7.如权利要求1所述的真空热压炉，其特征在于，所述控制系统包括：与所述炉体相连的电源柜，用于控制所述炉体的加热和加压工艺，实现热压烧结工艺；与所述真空系统相连的控制柜，用于控制所述机械泵开启时，所述充气阀关闭；还用于在收到机械泵关闭指令时，控制所述机械泵延迟预设时间关闭，且在所述预设时间内开启所述充气阀，向所述机械泵内充入大气。8.如权利要求7所述的真空热压炉，其特征在于，所述控制系统还包括位于所述控制柜上的机械泵关闭按钮，用于在按下时获得所述机械泵关闭指令。9.如权利要求7所述的真空热压炉，其特征在于，所述真空热压炉还包括：与所述炉体系统相连的液压系统和水循环系统；所述液压系统还与所述控制柜相连，且所述液压系统的运作由所述控制柜进行控制；所述水循环系统还与所述控制柜相连，且所述水循环系统的运作由所述控制柜进行控制。10.如权利要求7所述的真空热压炉，其特征在于，所述真空热压炉用于进行热压烧结工艺，所述炉体系统还包括位于所述炉体内的烧结模具。2CN107869909A说明书1/5页真空热压炉技术领域[0001]本发明涉及烧结炉技术领域，尤其涉及一种真空热压炉。背景技术[0002]真空热压炉是用石墨作为发热元件的立式电阻炉，广泛应用于金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等等在高温高真空条件下或保护气氛下的热压烧结。[0003]目前真空热压炉有五大系统，其中包含炉体系统、电源系统、真空系统、液压系统及水循环系统。[0004]但是，现有技术真空热压炉容易出现设备故障。发明内容[0005]本发明解决的问题是提供一种真空热压炉，降低真空热压炉出现设备故障的可能性。[0006]为解决上述问题，本发明提供一种真空热压炉，包括：炉体系统，包括炉体；真空系统，用于对所述炉体进行抽真空，所述真空系统包括机械泵、以及与所述机械泵相连的充气阀；控制系统，与所述真空系统相连，用于控制所述机械泵开启时，所述充气阀关闭；还用于在收到机械泵关闭指令时，控制所述机械泵延迟预设时间关闭，且在所述预设时间内开启所述充气阀，向所述机械泵内充入大气。[0007]可选的，所述充气阀设置于所述机械泵上。[0008]可选的，所述真空系统还包括罗茨泵，所述罗茨泵一端与所述炉体相连，另一端通过管道与所述机械泵相连。[0009]可选的，所述充