真空热压烧结炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105783501A(43)申请公布日2016.07.20(21)申请号201610150330.8F27B5/18(2006.01)(22)申请日2016.03.16(71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所地址315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号(72)发明人李路平秦海明张洪荣刘柱王新佳蒋俊江浩川(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人贾满意(51)Int.Cl.F27B5/00(2006.01)F27B5/06(2006.01)F27B5/14(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称真空热压烧结炉(57)摘要本发明提供了一种真空热压烧结炉，包括：炉体，炉体中设置有上水冷压头及下水冷压头，上水冷压头与下水冷压头位于炉体的两端并相对设置；液压机构，包括上液压缸及下液压缸；及感应加热机构，包括法兰、感应线圈及热压模具，感应线圈安装于法兰上，且，法兰可拆卸的安装于炉体内，感应线圈缠绕设置于热压模具的外侧，且，上水冷压头与下水冷压头夹紧热压模具。通过感应线圈可拆卸的安装于炉体内，可以根据不同的使用需求更换不同尺寸规格的感应线圈及不同尺寸规格的热压模具，这样能使本发明的真空热压烧结炉的温区的范围可调节，以适应不同尺寸的样品的加工，扩大了适用范围，便于用户使用。CN105783501ACN105783501A权利要求书1/2页1.一种真空热压烧结炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体中设置有上水冷压头及下水冷压头，所述上水冷压头与所述下水冷压头位于所述炉体的两端并相对设置；液压机构，包括上液压缸及下液压缸，所述下液压缸与所述下水冷压头连接，所述上液压缸与所述上水冷压头连接，所述下液压缸带动所述下水冷压头上下运动，所述上液压缸带动所述上水冷压头上下运动；及感应加热机构，包括法兰、感应线圈及热压模具，所述感应线圈安装于所述法兰上，且，所述法兰可拆卸的安装于所述炉体内，所述感应线圈缠绕设置于所述热压模具的外侧，且，所述上水冷压头与所述下水冷压头夹紧所述热压模具。2.根据权利要求1所述的真空热压烧结炉，其特征在于，所述上液压缸带动所述上水冷压与所述下液压缸带动所述下水冷压头夹紧所述热压模具并带动所热压模具上下运动，使热压烧结工艺与区熔加热工艺相结合。3.根据权利要求2所述的真空热压烧结炉，其特征在于，所述感应加热机构还包括测温件，所述测温件能够检测所述感应线圈的感应加热温度；所述测温件为热电偶，所述热电偶安装于所述热压模具中；或者，所述测温件为红外探测头，所述红外探测头安装于所述炉体外。4.根据权利要求3所述的真空热压烧结炉，其特征在于，所述感应加热机构还包括感应电源，所述感应电源设置于所述炉体的外侧，且，所述感应电源与所述感应线圈电连接，所述感应电源通电能够使所述感应线圈进行感应加热作业。5.根据权利要求4所述的真空热压烧结炉，其特征在于，还包括控制机构，所述控制机构与所述感应加热机构电连接，所述控制机构控制所述感应线圈感应加热；所述控制机构与所述液压机构连接，所述控制机构能够控制所述上液压缸及所述下液压缸工作。6.根据权利要求5所述的真空热压烧结炉，其特征在于，所述控制机构控制所述上液压缸及所述下液压缸的压力；所述上液压缸及所述下液压缸的压力为常压时，所述上液压缸及所述下液压缸带动所述热压模具上下运动，使所述热压模具进行区熔加热；所述上液压缸及所述下液压缸的压力为高压时，所述上液压缸及所述下液压缸带动所述热压模具上下运动，使所述热压模具进行热压烧结工艺与区熔加热工艺相结合；其中：常压的范围为0Mpa～5Mpa；高压的范围为5Mpa以上。7.根据权利要求5所述的真空热压烧结炉，其特征在于，还包括真空机构，所述真空机构与所述控制机构连接，所述控制机构控制所述真空机构工作；所述真空机构为具有分子泵的高真空机构，或者，所述真空机构为具有机械真空泵的低真空机构。8.根据权利要求2所述的真空热压烧结炉，其特征在于，还包括水冷机构，所述水冷机构包括第一冷却管路、第二冷却管路、第三冷却管路及第四冷却管路；所述上水冷压头中设置有第一冷却路径，所述第一冷却管路安装于所述第一冷却路径中；所述下水冷压头中设置有第二冷却路径，所述第二冷却管路安装于所述第二冷却路径2CN105783501A权利要求书2/2页中；所述炉体为双层水冷结构，所述第三冷却管路安装于所述双层水冷结构中；所述感应线圈为空心铜制线圈，所述第四冷却管路安装于空心的所述感应线圈中。9.根据权利要求1所述的真空热压烧结炉，其特征在于，所述感应线圈通过耐高温绝缘材料与所述法兰密封连接；所述耐高温绝缘材料为陶瓷、聚四氟乙烯、改性聚甲醛、聚苯硫醚、聚醚醚酮、聚苯酯