

用于硅片烧结炉的下料装置.pdf
St****36
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本发明公开了一种能够提高硅片收集效率,便于实现自动化生产的用于硅片烧结炉的下料装置。该用于硅片烧结炉的下料装置,包括横向运输装置和竖向运输装置以及硅片装料盒;并且在竖向输送装置上设置换向输送装置,因此通过换向输送装置可以实现硅片输送方向的选择,能够实现硅片的分类,同时可改变硅片的输送方向。采用该用于硅片烧结炉的下料装置能够实现对硅片的分类,并且能够提高硅片的收集效率。
用于硅片烧结炉的上料装置.pdf
本发明公开了一种能够准确控制烧结炉入料装置的送料速率的用于硅片烧结炉的上料装置。该用于硅片烧结炉的上料装置,包括硅片转移装置、硅片盒以及运送硅片盒的输送装置;所述输送装置包括支座、输送主辊、输送从动辊,所述输送主辊、输送从动辊均通过支座支撑;所述输送主辊的支座上设置有驱动输送主辊转动的驱动装置;输送主辊和输送从动辊上缠绕有两条平行的传送带;两条平行的传送带之间的间距内设置有升降装置,所述硅片转移装置位于升降装置的正上方;所述硅片转移装置包括壳体、硅片传送带、吸盘;所述壳体上设置有检测硅片盒位于升降装置正上
用于硅片甩干机的上下料机构.pdf
本申请公开了一种用于硅片甩干机的上下料机构,包括甩干机主体,甩干机主体内设有多个花篮放置槽,甩干机主体的外沿上转动连接有环形板,环形板的外壁上设有环形齿,环形齿上啮合连接有第一齿轮,第一齿轮与第一电机连接,每个花篮放置槽外侧的环形板上对应设有第一定位槽,相邻第一定位槽之间的环形板上设有第二定位槽,甩干机主体的上方设有升降板,升降板的底端固定有多个平移电缸,多个平移电缸与多个花篮放置槽一一对应设置,平移电缸设置在甩干机主体的半径上,平移电缸上配合滑动连接有花篮夹具,升降板的顶端固定有升降机构。该上下料机构通
一种用于硅片加工的烧结炉带清洁装置.pdf
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