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用于硅片甩干机的上下料机构.pdf
2023-06-01
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永香****能手
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用于硅片甩干机的上下料机构.pdf
本申请公开了一种用于硅片甩干机的上下料机构，包括甩干机主体，甩干机主体内设有多个花篮放置槽，甩干机主体的外沿上转动连接有环形板，环形板的外壁上设有环形齿，环形齿上啮合连接有第一齿轮，第一齿轮与第一电机连接，每个花篮放置槽外侧的环形板上对应设有第一定位槽，相邻第一定位槽之间的环形板上设有第二定位槽，甩干机主体的上方设有升降板，升降板的底端固定有多个平移电缸，多个平移电缸与多个花篮放置槽一一对应设置，平移电缸设置在甩干机主体的半径上，平移电缸上配合滑动连接有花篮夹具，升降板的顶端固定有升降机构。该上下料机构通
2023-06-01
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一种硅片甩干机停机转轴自复位机构.pdf
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2023-08-30
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可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构.pdf
本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U
2023-05-31
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本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种用于多晶硅片生产的自动下料刻蚀机，包括等离子刻蚀机、超声清洗设备、抛光设备、带传动机构、装片盒，硅片输出装置、气体泵、冷凝装置和支撑架，本发明实现了对硅片刻蚀、清洗、干燥和抛光的目的，气体泵将刻蚀机中的热空气抽出并通过管道传递给泠凝装置，冷凝装置将热空气冷凝为液态水，热空气经冷凝后流入超声清洗设备中供清洗硅片使用，实现了刻蚀机的降温，也利用了热空气，节约了水资源，当装片盒中没有硅片时，伸缩杆收缩成初始状态，吸盘将不会吸附装片盒中的硅片刻蚀机和其它装置均不工作，
2023-06-02
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用于硅片烧结炉的下料装置.pdf
本发明公开了一种能够提高硅片收集效率，便于实现自动化生产的用于硅片烧结炉的下料装置。该用于硅片烧结炉的下料装置，包括横向运输装置和竖向运输装置以及硅片装料盒；并且在竖向输送装置上设置换向输送装置，因此通过换向输送装置可以实现硅片输送方向的选择，能够实现硅片的分类，同时可改变硅片的输送方向。采用该用于硅片烧结炉的下料装置能够实现对硅片的分类，并且能够提高硅片的收集效率。
2023-06-17
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