一种烧结装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108061462A(43)申请公布日2018.05.22(21)申请号201711317660.2(22)申请日2017.12.12(71)申请人湖南顶立科技有限公司地址410118湖南省长沙市天心区暮云经济开发区顶立科技园(72)发明人彭泽云戴煜胡祥龙(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人罗满(51)Int.Cl.F27B5/05(2006.01)F27B5/16(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种烧结装置(57)摘要本申请公开了一种烧结装置，包括烧结炉、真空系统、进气系统、过滤系统，所述烧结炉用于容纳待烧结物料，并对物料进行加热烧结；所述真空系统与所述烧结炉相连通，用于提供烧结炉内的真空环境；所述进气系统与所述烧结炉相连通，用于向所述烧结炉内通入烧结反应所需的气体；所述过滤系统设置在所述烧结炉与所述真空系统之间，所述烧结炉排出的气体，经所述过滤系统过滤后再进入所述真空系统中。本申请提供的烧结装置，尤其适用于碳化硅的烧结，对反应炉内排出的气体进行过滤净化，提高烧结炉的烧结质量的同时，能够避免污染物对真空系统的影响，维持烧结过程中气压的稳定。CN108061462ACN108061462A权利要求书1/1页1.一种烧结装置，其特征在于，包括烧结炉(1)、真空系统(2)、进气系统(3)、过滤系统(4)，所述烧结炉(1)用于容纳待烧结物料，并对物料进行加热烧结；所述真空系统(2)与所述烧结炉(1)相连通，用于提供烧结炉(1)内的真空环境；所述进气系统(3)与所述烧结炉(1)相连通，用于向所述烧结炉(1)内通入烧结反应所需的气体；所述过滤系统(4)设置在所述烧结炉(1)与所述真空系统(2)之间，所述烧结炉(1)排出的气体，经所述过滤系统(4)过滤后再进入所述真空系统(2)中。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述过滤系统(4)包括相连通的冷凝部件(41)、过滤部件(42)，所述烧结炉(1)排出的气体依次经过冷凝部件(41)、过滤部件(42)，再进入所述真空系统(2)中。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述过滤部件(42)设有多层过滤介质，所述多层过滤介质中至少一层的最小截留粒径与其他层的最小截留粒径不同。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述过滤部件(42)通过第一管路(43)与所述真空系统(2)相连通，所述冷凝部件(41)还设有与所述真空系统(2)直接连通的第二管路(44)，所述第一管路(43)、第二管路(44)分别设有阀门。5.根据权利要求1-4中任一项所述的装置，其特征在于，所述烧结炉(1)包括炉体(11)，用于加热炉体(11)的加热部件(12)，用于检测炉体(11)内温度的测温部件(13)，所述炉体(11)包括炉壳、设置在炉壳内部的保温层，设置在保温层内部的烧结箱，所述加热部件(12)设置在所述烧结箱与所述保温层之间。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述测温部件(13)包括热电偶测温元件与红外测温元件。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述进气系统(3)设有用于提供脱脂气体的脱脂气源(31)、用于提供惰性气体的惰性气源(32)，所述脱脂气源(31)、惰性气源(32)分别通过管路与所述烧结炉(1)连通。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述惰性气源(32)通过常规管路、快充管路分别与所述烧结炉(1)相连通，所述常规管路、快充管路分别设有阀门。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述进气系统(3)还设有用于提供反应气体的反应气源(33)，所述反应气源(33)通过管路与所述烧结炉(1)连通。10.根据权利要求1-4、6-9中任一项所述的装置，其特征在于，还设有快冷系统(5)，所述快冷系统(5)的进气管路、出气管路分别与所述烧结炉(1)相连通，用于对烧结炉(1)内产品进行快速冷却。2CN108061462A说明书1/5页一种烧结装置技术领域[0001]本申请涉及材料处理设备技术领域，特别是涉及一种烧结装置。背景技术[0002]碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能(高的抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高的抗磨性、低的摩擦系数)与高温力学性能(强度、抗蠕变性等)，而融合了复合材料技术优势发展起来的以碳化硅陶瓷为基的复相陶瓷，如纤维补强陶瓷、二相粒子强化陶瓷以及功能梯度陶瓷等，更进一步改善了单体材料的韧性和强度。上述材料广泛应用于石油、化工、微电子、汽车、航空、航天等领域，[0003]当前，常见的制备碳化硅陶瓷的方法有无压烧结、热压烧结、热等静压烧结以及反应烧结等。虽然各类方法制备的碳化硅陶瓷性能不尽相同，但其制备过程存在两个共性，一是碳