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一种大尺寸石英坩埚的制备方法.pdf
2023-06-17
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建英****66
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一种大尺寸石英坩埚的制备方法.pdf
本发明涉及一种大尺寸石英坩埚的制备方法，包括1将原料装入金属模具内旋转成型；2熔制功率调为950‑1050KW起弧；启动真空机组抽真空，当模具内真空度为0.8‑1.2MPa时，提高熔制功率至1450‑1550KW后，电极下降至埚底位置，熔制15‑30s；电极归位起弧位置，降低熔制功率至950‑1050KW，关闭真空机组，形成坩埚透明层；3熔制功率升至1250‑1350KW后，将所述2中形成透明层的坩埚，吹气熔制3‑15min；降低熔制功率至950‑1050KW，断弧，出炉，获得石英坩埚毛坯；4将3中获得的
2023-06-17
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2023-06-20
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本发明提供一种石英坩埚涂层的制备方法，包括：a)配置氢氧化钡溶液，所述氢氧化钡溶液中氢氧化钡与水的重量比为1∶(46～52)；b)将石英坩埚加热至200℃以上，将所述氢氧化钡溶液均匀喷涂于所述石英坩埚的内壁和上口，喷涂后所述石英坩埚内壁和上口表面形成氢氧化钡涂层。按照上述方法在坩埚表面形成的氢氧化钡会与空气中的二氧化碳反应形成碳酸钡，当此种石英坩埚在单晶炉上被加热时，碳酸钡会分解形成氧化钡，氧化钡又会与石英坩埚反应形成硅酸钡，硅酸钡层对石英坩埚起到保护作用，防止单晶硅高温拉制过程中与石英坩埚反应，改善石英
2023-06-20
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2023-06-20
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