一种非晶硅太阳能电池生产工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108649103A(43)申请公布日2018.10.12(21)申请号201810468744.4(22)申请日2018.05.16(71)申请人汪玉洁地址310014浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学能源学院(72)发明人汪玉洁张云鹤(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/04(2014.01)权利要求书2页说明书7页附图6页(54)发明名称一种非晶硅太阳能电池生产工艺(57)摘要本发明属于非晶硅电池生产技术领域，具体的说是一种非晶硅太阳能电池生产工艺，该工艺包括如下步骤：将经过前工序处理后的玻璃基板，送入清洗机中，清洗该玻璃基板；再将玻璃基板装入夹具中，预热后送入非晶硅沉积炉中沉积PIN型非晶硅薄膜；将玻璃基板送入激光刻膜机中，刻划非晶硅薄膜；印制集成碳膜层背电极，然后印制电池保护漆、字符；印制电池铜可焊电极；将玻璃基板上集成排列的该非晶硅太阳能电池切割为单体非晶硅太阳能电池，并将切割好的非晶硅太阳能电池进行外观质量检查和分类；本发明主要用于对非晶硅太阳能电池生产过程中的玻璃基板进行激光刻膜，实现了提高刻膜工艺的质量和效率。CN108649103ACN108649103A权利要求书1/2页1.一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于：该工艺包括如下步骤：步骤一：将经过前工序处理后的玻璃基板，送入清洗机中，清洗该玻璃基板；步骤二：将步骤一中清洗好的玻璃基板，装入玻璃基板夹具中，预热后送入非晶硅沉积炉中沉积PIN型非晶硅薄膜；步骤三：将步骤二中已经沉积非晶硅薄膜的玻璃基板送入激光刻膜机中，在透明电极与背电极连接区内，刻划非晶硅薄膜；步骤四：在步骤三中已经刻划非晶硅薄膜的玻璃基板上，印制集成碳膜层背电极，然后印制电池保护漆、字符；步骤五：在经过步骤四制造的玻璃基板上，印制电池铜可焊电极；步骤六：将经过步骤五制造的玻璃基板，将玻璃基板上集成排列的该非晶硅太阳能电池切割为单体非晶硅太阳能电池，并将已切割好的成品非晶硅太阳能电池进行外观质量检查和分类；步骤三中的激光刻膜机，包括机架(1)、上气浮板(2)、下气浮板(3)、浮板调节装置(4)、清扫装置(5)、激光聚焦头(6)，所述机架(1)底板上方固定连接下气浮板(3)；所述下气浮板(3)安装在同一水平高度，下气浮板(3)用于向玻璃基板吹向上的定向气流，下气浮板(3)从左往右分别为一号下气浮板(31)、二号下气浮板(32)、三号下气浮板(33)；所述一号下气浮板(31)与二号下气浮板(32)中间设有激光聚焦头(6)；所述二号下气浮板(32)与三号下气浮板(33)中间设有清扫装置(5)；所述清扫装置(5)固定连接在机架(1)的短立柱之间，清扫装置(5)用于对玻璃基板上、下表面的灰尘进行清理；所述一号下气浮板(31)和二号下气浮板(32)上方设有上气浮板(2)；所述上气浮板(2)用于向玻璃基板吹向下的定向气流，上气浮板(2)上方设有浮板调节装置(4)；所述浮板调节装置(4)用于调节上气浮板(2)的垂直高度；所述浮板调节装置(4)上端固定连接在机架(1)顶板下方；其中，所述浮板调节装置(4)包括刹车电机(41)、驱动杆(42)、一号驱动连杆(43)、二号驱动连杆(44)、上连接板(45)、下连接板(46)、剪刀叉式连杆组件(47)、一号滑块(48)、二号滑块(49)，所述上气浮板(2)上方固定连接下连接板(46)；所述下连接板(46)上表面中心位置铰接一号驱动连杆(43)一端；所述一号驱动连杆(43)另一端铰接驱动杆(42)一端；所述驱动杆(42)另一端铰接二号驱动连杆(44)一端，驱动杆(42)中心与刹车电机(41)的转轴端头固定安装；所述刹车电机(41)底座通过直线导轨滑动安装在机架(1)的长立柱上；所述二号驱动连杆(44)的另一端铰接上连接板(45)；所述上连接板(45)固定连接在机架(1)顶板下方；所述下连接板(46)上表面四角设有四组剪刀叉式连杆组件(47)；所述剪刀叉式连杆组件(47)一端的一根连杆与下连接板(46)铰接，剪刀叉式连杆组件(47)一端的另一根连杆与一号滑块(48)铰接；所述一号滑块(48)与下连接板(46)滑动安装；所述剪刀叉式连杆组件(47)另一端的一根连杆与上连接板(45)铰接，剪刀叉式连杆组件(47)另一端的另一根连杆与二号滑块(49)铰接；所述二号滑块(49)与上连接板(45)滑动安装。2.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于：所述上气浮板(2)和下气浮板(3)的出气孔内设有出气套管(21)，所述出气套管(21)与上气浮板(2)或下气浮板(3)通过螺纹连接；所述出气套管(21)上方设有锥形块(22)；所述锥形块(22