太阳能电池制造技术晶硅非晶硅.pptx

太阳能电池制造(zhìzào)技术晶硅非晶硅Outline太阳能电池(diànchí)产业链太阳能电池(diànchí)结构太阳能电池(diànchí)分类太阳能电池(diànchí)分类晶体(jīngtǐ)硅太阳能电池工艺简介1硅片清洗(qīngxǐ)制绒1硅片清洗(qīngxǐ)制绒1硅片清洗(qīngxǐ)制绒2扩散(kuòsàn)制p-n结2扩散(kuòsàn)制p-n结2扩散(kuòsàn)制p-n结3周边(zhōubiān)刻蚀边缘刻蚀的监控：边缘电阻测试

参与反应的气体除了去除(qùchú)边缘n型硅外，还能去除(qùchú)硅片表面的n型硅，所以刻蚀操作时一定要压紧硅片，不能使硅片间留有间隙。4氢氟酸清洗(qīngxǐ)5PECVD镀膜薄膜的其他功能：这层薄膜主要由蓝色的氮化硅组成，除了(chúle)前面所说的减反射(anti-reflection)作用外，还能起到钝化(passivation)的效果。同时，致密的氮化硅能阻挡钠离子扩散，不透潮气，具有极低的氧化速率，还可防止划伤。单体(dāntǐ)硅PECVD镀膜后效果图6印刷(yìnshuā)烧结6印刷(yìnshuā)烧结6印刷(yìnshuā)烧结7测试(cèshì)分选7测试(cèshì)分选开路电压Voc：opencircuitvoltage
短路电流Isc：shortcircuitcurrent
填充因子FF：fillingfactor
最大功率(gōnglǜ)Pm：maximumpower
转换效率Eff：conversionefficiency电池效率(xiàolǜ)总结