一种扩散炉管的装载区风门监控方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108731927A(43)申请公布日2018.11.02(21)申请号201810361818.4(22)申请日2018.04.20(71)申请人上海华力微电子有限公司地址201200上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号(72)发明人魏巍俞玮(74)专利代理机构上海申新律师事务所31272代理人俞涤炯(51)Int.Cl.G01M13/00(2006.01)G01N33/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图1页(54)发明名称一种扩散炉管的装载区风门监控方法(57)摘要本发明公开了一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其属于半导体领域的技术，包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。该技术方案的有益效果是：本发明能够实时的检测扩散炉管中的氧气浓度，并根据装载区风门的关闭或开启状态来判断是否发出警报，能够有效的监控装载区风门并及时的发出警报以提醒用户及时处理，从而降低了产品的报废风险。CN108731927ACN108731927A权利要求书1/2页1.一种扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，于所述扩散炉管中设置一用于检测所述扩散炉管中的氧气浓度的检测模块；所述检测模块与一控制模块相连，所述控制模块与所述装载区风门相连；所述控制模块连有一警报模块；所述装载区风门监控方法具体包括：步骤S1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤S2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的阈值比较，判断所述氧气浓度值是否小于所述阈值：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则转到步骤S3；步骤S3，所述控制模块从所述装载区风门获取所述装载区风门的状态信息，并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则回到步骤S1。2.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述控制模块通过一控制过程控制所述装载区风门开合，所述控制过程包括：步骤A1，所述控制模块通过所述检测模块获得所述扩散炉管中的氧气浓度值；步骤A2，所述控制模块将所述氧气浓度值与一预设的触发点设定值相比较，并判断所述氧气浓度值是否小于所述触发点设定值：若是，则所述控制模块控制所述装载区风门关闭；若否，则所述控制模块控制所述装载区风门打开，随后回到步骤A1。3.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中，所述氧气浓度值小于所述阈值时，所述控制模块获取所述装载区风门的状态信息并根据所述状态信息判断所述装载区风门是否关闭：若是，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报；若否，则所述控制模块控制所述警报模块发出警报，并生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。4.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述装载区风门关闭时，所述控制模块控制所述警报模块发出警报，并生成用于指示所述装载区风门处于异常状态的异常信息。5.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述装载区风门中设有一用于存储所述状态信息的存储模块。6.根据权利要求5所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述存储模块为一寄存器，所述装载区风门关闭时所述寄存器置0，所述装载区风门打开时所述寄存器置1。7.根据权利要求2所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述阈值小于所述触发点设定值。8.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述控制模块中设有一互锁编辑单元，用户通过所述互锁编辑单元设定所述阈值。2CN108731927A权利要求书2/2页9.根据权利要求2所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述触发点设定值为19.5％。10.根据权利要求1所述的扩散炉管的装载区风门监控方法，其特征在于，所述检测模块为氧气侦测计。3CN108731927A说明书1/4页一种扩散炉管的装载区风门监控方法技术领域[0001]本发明涉及的是一种半导体领域的技术，具体是一种扩散炉管的装载区风门监控方法。背景技术[0002]扩散运动是分子运动所造成的，是物质的随机热运动，趋向于降低其浓度梯度，即存在一个从高浓度向低浓度的净移动。[0003]扩散工艺是指利用杂质的扩散运动，将所需要的的杂质参入硅衬底中，并使其具有特定的浓度分布。[0004]