一种异型多晶炉坩埚护板.pdf
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一种异型多晶炉坩埚护板.pdf
本发明公开了硅片制造领域内的一种异型多晶炉坩埚护板,护板由四块矩形的侧板依次连接围成,每块侧板的一侧边上设有固定孔,每两块侧板通过固定件与固定孔的配合形成连接;每块侧板的板面位于固定孔的位置上开设有与固定孔交叉的减震孔,侧板的顶部加工有盖板安装槽,盖板安装槽包括一对加工在侧板顶部两侧且相对设置的L形板状结构,本发明通过在侧板的顶部设置盖板安装槽,使得盖板安装时减少安装磕碰及安装时间,减少侧板周边上固定栓数量,提高安装效率,可用于多晶炉中。
铸锭多晶炉底坩埚护板.pdf
本发明涉及一种铸锭多晶炉底坩埚护板,一块带有圆形或多边形凸起的是石墨板。在多晶铸锭过程中,石英坩埚放置在本发明涉的具有凸起的石墨板上,使得石英坩埚底部与石墨板的接触区域由平面变为分散的“点域”接触。从而使石英坩埚与底护板之间的传热由平面变为点点加强的区域接触。在石英坩埚底部形成一个个与凸起中心相对应的冷点,为多晶铸锭结晶初始阶段提供结晶点。从而减少铸锭多晶硅结晶初期的形核数量,并且在形核后沿石英坩埚横向长大,铺满坩埚底部后再竖直生长,在多晶铸锭中形成比较大的柱状晶。减少铸锭多晶硅中的晶界含量,从而降低铸锭
多晶硅铸锭炉的坩埚护板及其使用方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板,坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构;各石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有多个卯;相邻的石墨护板之间通过榫卯连接。本发明还公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板的使用方法。本发明能使护板的拆、装在操作上变得简单,且护板能反复使用,能提高生产效率、降低生产成本。
一种石墨护板和多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种石墨护板和多晶铸锭炉,其中,石墨护板包括护板本体和隔热保护层,所述护板本体上设置有连接所述护板本体左端与右端的开槽区,所述开槽区内设置有至少一个开槽口,所述隔热保护层设置在所述开槽口,所述开槽区的底部与所述护板本体底部的间距为10mm~20mm,所述开槽口的顶部与所述护板本体底部的间距为75mm~155mm。所述石墨护板和多晶铸锭炉,通过在护板本体的下部设置开槽区,在开槽区设置开槽口,在开槽口设置隔热保护层,达到保护籽晶的作用,由于是在开槽口中设置隔热保护层,可以在护板本体安装在铸锭炉主体
一种多晶硅铸锭炉及其坩埚.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括设于炉腔内的顶部加热器和侧面加热器,还包括设于炉腔内的中心加热器,以便对坩埚内的中部硅料进行加热。由于在多晶硅铸锭炉的炉腔中部安装有中心加热器,在顶部加热器和侧面加热器加热的同时,中心加热器也同时加热,可以快速提高坩埚内硅料的温度,同时缩短了坩埚内外侧硅料到中部硅料热传递的距离,减少了热传递时间,避免了因加热时间过长造成的能量损失。此外,中心加热器的设置还可以减小坩埚内中部硅料和外侧硅料的温度差,保证多晶硅铸锭的质量。本发明还公开了一种用于上述多晶硅铸锭炉的坩埚。