气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109956478A(43)申请公布日2019.07.02(21)申请号201711420170.5F27D11/02(2006.01)(22)申请日2017.12.25(71)申请人新特能源股份有限公司地址830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园(72)发明人朱文博银波范协诚王文夏高强薛明华(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人罗建民邓伯英(51)Int.Cl.C01B33/113(2006.01)F27D7/06(2006.01)F27D9/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法(57)摘要本发明公开了一种气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法，气相沉积炉包括炉体，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变为气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构为可转动的叶轮机构，沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上甩出的沉积产物。本发明中的沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，大大提高了沉积产物的收集效率，沉积机构自身不断为新生成的沉积产物提供空白的沉积面，从而进一步提高了新生成的沉积产物的沉积效率。CN109956478ACN109956478A权利要求书1/2页1.一种气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变为气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构为可转动的叶轮机构，沉积机构转动可将沉积于其上的沉积产物甩出，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；接收机构，用于接收从沉积机构上甩出的沉积产物。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，还包括：冷却机构，冷却机构位于沉积机构的沉积面的背面，冷却机构与沉积机构固定连接，冷却机构具有中空的冷却机构腔体，冷却机构腔体用于通入冷源对与冷却机构接触的沉积机构进行冷却。3.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积机构为开式叶轮、半开式叶轮中的一种。4.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积机构包括轮盘、设置于轮盘中心的轮毂和设置于轮盘一侧的径向叶片，径向叶片的一端与轮毂的外围相切。5.根据权利要求4所述的气相沉积炉，其特征在于，径向叶片与轮盘的直径的夹角为20°～40°。6.根据权利要求2所述的气相沉积炉，其特征在于，还包括驱动机构，驱动机构通过转轴与沉积机构连接，且驱动机构通过转轴与冷却机构连接，驱动机构用于驱动沉积机构转动，转轴内设置有冷源通道，冷源通道与冷却机构腔体连通，冷源通过冷源通道进入到冷却机构腔体内对沉积机构进行冷却。7.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积腔室设置于加热腔室上方，沉积腔室与加热腔室通过连通通道连通。8.根据权利要求7所述的气相沉积炉，其特征在于，接收机构为接收盘，连通通道穿过接收盘的底部。9.根据权利要求7所述的气相沉积炉，其特征在于，连通通道包括：朝向沉积腔室的第一开口、朝向加热腔室的第二开口，第一开口的开口面积小于第二开口的开口面积。10.根据权利要求9所述的气相沉积炉，其特征在于，第一开口的中心对应沉积机构的中央。11.根据权利要求7所述的气相沉积炉，其特征在于，接收机构的开口的正投影视图至少与沉积机构的正投影视图与沉积腔室的横向切面重叠之外的区域有交集。12.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，加热腔室设置有加热腔室入口，用于向加热腔室内通入非氧化性气体。13.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，接收机构为夹层结构，夹层结构内的空隙用于通入冷源冷却接收机构。14.根据权利要求1或2所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积机构包括叶轮，叶轮为夹层结构，夹层结构内的空隙用于通入冷源冷却叶轮。15.一种使用权利要求1～14任意一项所述的气相沉积炉生产氧化亚硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将含硅和/或碳的材料、与含二氧化硅的材料放入到加热腔室中，通过沉积腔室开2CN109956478A权利要求书2/2页口抽真空；(2)通过加热腔室加热原料，反应生成氧化亚硅并升华，氧化亚硅沉积于转动的沉积机构上，沉积机构转动将沉积于其上的沉积产物甩出，接收机构接收从沉积机构上甩出的沉积产物。16.根据权利要求15所述的生产氧化亚硅的方法，其特征在于，所述步骤(1)