一种用于高温设备的旋转料台.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110307731A(43)申请公布日2019.10.08(21)申请号201910132205.8(22)申请日2019.02.22(71)申请人湖南省鑫源新材料股份有限公司地址414000湖南省岳阳市汩罗市屈原管理区营田镇虎形山社区(72)发明人孟辉徐雄姜勇肖志英(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569代理人王海燕(51)Int.Cl.F27D5/00(2006.01)F27D7/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种用于高温设备的旋转料台(57)摘要本发明公开一种用于高温设备的旋转料台，包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合。本发明用于高温设备的旋转料台在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高了产品品质的均匀性。CN110307731ACN110307731A权利要求书1/1页1.一种用于高温设备的旋转料台，其特征在于：包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合。2.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述炉体的侧壁上设置有若干个炉侧进气口。3.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述料台上设置有气腔和若干个料台布气管，所述料台布气管的顶端通入所述炉体内部，所述料台布气管的底端与所述气腔相通；所述传动轴中空，且所述传动轴中设置有炉底进气管，所述炉底进气管的顶端通入所述气腔中。4.根据权利要求3所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述料台布气管和所述炉底进气管均竖直。5.根据权利要求3所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述炉底进气管通过第二动密封圈与所述传动轴连接。6.根据权利要求3所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述炉底进气管与所述传动轴同轴。7.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述传动轴通过轴承与地面转动配合。8.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述料台的中部具有伸进所述炉体的凸台，所述凸台用于放置产品。2CN110307731A说明书1/3页一种用于高温设备的旋转料台技术领域[0001]本发明涉及高温生产设备技术领域，特别是涉及一种用于高温设备的旋转料台。背景技术[0002]在现有技术中，圆形高温设备生产时需要将产品放置于炉底中心位置处的圆柱形料墩上，当炉内温度、压力上升到一定条件下后将工艺气体通入炉内进行反应或者沉积。在整个圆形高温设备的生产过程中，由于产品的形状、摆放位置及工艺气体进入点等因素的影响会导致炉内工艺气体的流动方位无法控制，使得最终的产品品质不一致且无法进行有效控制。[0003]现有的圆形高温设备在生产过程中，通过以下方式来解决工艺气体流动不均匀的问题：1、在圆柱形料墩上增加多个工艺气体进入点；2、在圆形高温设备工作区内沿母线方向增加多层、多个气体进入点的方式。随着圆形高温设备的工作区尺寸的增加，采用上述两种方式将大大增加设备的复杂程度，提高了设备的制作成本、维护成本。同时，随着设备的工作区尺寸的进一步增加，工艺气体的流动方位会更难以控制。发明内容[0004]本发明的目的是提供一种用于高温设备的旋转料台，以解决上述现有技术存在的问题，在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高产品品质的均匀性。[0005]为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种用于高温设备的旋转料台，包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合。[0006]优选地，所述炉体的侧壁上设置有若干个炉侧进气口。[0007]优选地，所述料台上设置有气腔和若干个料台布气管，所述料台布气管的顶端通入所述炉体内部，所述料台布气管的底端与所述气腔相通；所述传动轴中空，且所述传动轴中设置有炉底进气管，所述炉底进气管的顶端通入所述气腔中。[0008]优选地，所述料台布气管和所述炉底进气管均竖直。[0009]优选地，所述炉底进气管通过第二动密封圈与所述传动轴连接。[0010]优选地，所述炉底进气管与所述传动轴同轴。[001