一种保温炉防护装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110398154A(43)申请公布日2019.11.01(21)申请号201910518136.4(22)申请日2019.06.14(71)申请人上海至纯洁净系统科技股份有限公司地址200241上海市闵行区紫海路170号(72)发明人连海洲吴海华(74)专利代理机构上海宣宜专利代理事务所(普通合伙)31288代理人邹蕾(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D1/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种保温炉防护装置(57)摘要本发明涉及保温炉防护附属装置的技术领域，特别是涉及一种保温炉防护装置，其可以有效的对裸露在保温炉两端的硅碳棒冷端棒头及接电电缆进行防护，并有效防止硅碳棒或硅碳棒接电电缆发生电气短路打火危害，提高生产中的设备及人员的安全性，同时无须整体拆下即可方便地对硅碳棒等元件进行维护及点检，包括防护罩和隔离片，防护罩包括防护框架和防护门板，防护门板与防护框架通过不锈钢铰链或螺钉连接固定，防护框架远离保温炉炉口的边框上开设有电线穿线孔，防护门板上设置有多组散热孔，防护框架靠近保温炉炉口的侧面设置有防护框内折边，防护框内折边上设置有隔离片螺纹孔，隔离片上设置有隔离片固定孔，隔离片通过螺栓安装于防护框内折边上。CN110398154ACN110398154A权利要求书1/1页1.一种保温炉防护装置，其特征在于，包括防护罩和隔离片(1)，所述防护罩包括防护框架(2)和防护门板(3)，所述防护门板(3)与防护框架(2)通过不锈钢铰链或螺钉连接固定，所述防护框架(2)远离保温炉炉口的边框上开设有电线穿线孔(4)，防护门板(3)上设置有多组散热孔(5)，防护框架(2)靠近保温炉炉口的侧面设置有防护框内折边(6)，并在防护框内折边(6)上设置有隔离片螺纹孔(7)，所述隔离片(1)上设置有隔离片固定孔(8)，隔离片(1)通过螺栓安装于防护框内折边(6)上。2.如权利要求1所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述防护框架(2)和防护门板(3)均采用304不锈钢板弯折机焊接而成，防护框架(2)和防护门板(3)的厚度为2-5mm。3.如权利要求2所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述防护框架(2)的后端设置有翻边(9)，并在翻边(9)上设置有固定通孔(10)，防护边框通过翻边(9)上的固定通孔(10)安装于保温炉的两端。4.如权利要求3所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述隔离片(1)采用耐高温绝缘分金属材料，隔离片(1)可以为耐高温刚玉陶瓷。5.如权利要求4所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述隔离片(1)为“L”型或“I”型片状。6.如权利要求5所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述散热孔(5)可以为圆孔，也可以为狭窄空隙。7.如权利要求6所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述防护框架(2)的外框与保温炉端面大小保持一致，所述防护门板(3)的大小与防护框架(2)外框大小保持一致。8.如权利要求7所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述隔离片(1)的固定位置高出保温炉内硅碳棒冷端棒头高度5-10mm。9.如权利要求8所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述防护框架(2)的深度大于固定在保温炉端面的导线接线柱高度30-70mm。10.如权利要求9所述的一种保温炉防护装置，其特征在于，所述电线穿线孔(4)开设于防护框架(2)的顶边框上。2CN110398154A说明书1/4页一种保温炉防护装置技术领域[0001]本发明涉及保温炉防护附属装置的技术领域，特别是涉及一种保温炉防护装置。背景技术[0002]众所周知，保温炉是PCVD工艺的一个非常重要的部件，用于对石英衬底管的沉积反应区进行保温，使得石英衬底管在合适的温度条件下，在石英衬底管内壁完成石英玻璃层的沉积。保温炉一般由2个半长方体组成，并可张开，铺设有保温层的炉壳内设置有加热元件用于对整个炉壳空腔进行加热，炉体中心开设有纵向通槽，并在保温炉两端开设有略大于石英衬底管尾管直径的通孔。现有保温炉的加热元件一般为纵向贯穿炉壳前后部的大硅碳棒以及设置于保温炉两端的辅助小碳棒，用于连接加热电源的硅碳棒冷端棒头均设置于保温炉的两端，因此，保温炉两端均需要安装防护装置，以避免人员或其他导体碰触到硅碳棒或硅碳棒接电线缆，从而造成加热元件短路打火，对人员造成伤害。[0003]在PCVD工艺期间，保温炉工作温度一般大于1000℃，炉壳两端由于开设有多个硅碳棒通孔以及石英衬底管通孔的原因，炉壳两端的温度非常高，且硅碳棒属于易耗品，必须充分考虑其更换维护的便利性，因此对防护装置的耐高温性，散热性，抗变形能力以及防护装置内接电线缆的拆卸方便性均有较高的要