石英厚壁管二次成型装置及成型方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110498595A(43)申请公布日2019.11.26(21)申请号201910872541.6(22)申请日2019.09.16(71)申请人江苏亨通智能科技有限公司地址215000江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号(72)发明人张玉葛雷颜丽芳蒋平卫巍刘宝金勇孙栋梁陈程顾清华崔景涛邱徐斌(74)专利代理机构苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)32277代理人沈彬彬(51)Int.Cl.C03B23/047(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称石英厚壁管二次成型装置及成型方法(57)摘要本发明公开了一种石英厚壁管二次成型装置，包括炉体和牵引机构，炉体包括炉壳、上端盖、下底板、感应加热线圈、上感应加热件、中心杆、下部保温件和成型台；炉壳内具有贯穿炉体的炉腔，上端盖和下底板分设于炉壳的上下两端，上端盖上开设有定位槽和氮气孔，下底板上设有下料口和氮气孔；感应加热线圈设于炉壳内，上感应加热件为中空柱形结构件，其设于炉腔内并悬挂于炉壳上壁；中心杆位于炉腔内，通过定位槽定位，其中设有通孔；上感应加热件的下端连接有成型台，成型台具有锥形缩口，成型台的下端设有下部保温件。本发明还公开了使用上述装置的二次成型方法。本发明的二次成型装置，能够将超公差的厚壁管进行再次成型，有效的节约原材料。CN110498595ACN110498595A权利要求书1/1页1.一种石英厚壁管二次成型装置，包括炉体和牵引机构，其特征在于，所述炉体包括炉壳、上端盖、下底板、感应加热线圈、上感应加热件、中心杆、下部保温件和成型台；所述炉壳内具有贯穿所述炉体的炉腔，所述上端盖和下底板分别设于炉壳的上下两端，上端盖上开设有定位槽和氮气孔，下底板上设有下料口和氮气孔；感应加热线圈设于炉壳内，上感应加热件为中空柱形结构件，其设于所述炉腔内，并悬挂于与炉壳上壁；所述中心杆位于所述炉腔内，其通过所述定位槽定位，中心杆中设有通孔以通入氮气；所述上感应加热件与中心杆之间形成用于放置待成型石英件的空腔；上感应加热件的下端连接有成型台，所述成型台具有锥形缩口，成型台的下端设有下部保温件；所述牵引机构设于所述下料口处，用于成型坯体的牵引移出。2.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述上感应加热件的内径为150～250mm。3.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述中心杆的外径为15～85mm。4.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述成型台出口的内径为70～160mm。5.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述下部保温件的高度为250～500mm。6.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述中心杆的下端形成为锥形口。7.如权利要求1所述的石英厚壁管二次成型装置，其特征在于，所述上感应加热件与成型台之间采用可拆装式连接。8.一种石英厚壁管二次成型方法，其特征在于，所述成型方法使用如权利要求1-7任一项所述的二次成型装置，并包括以下步骤：S1、将超公差的石英厚壁管端面切平并清洗干净，保证其有效长度大于200mm；S2、将经步骤S1处理的石英厚壁管悬挂静放至炉腔内感应加热区，然后通过上盖板和下底板上的氮气孔及中心杆的内部通孔向炉腔内通入氮气，以将空气置换出去，直至下料口检测不到氧气；上盖板和下底板上氮气孔的氮气流量为5～15L/min，中心杆内部通孔的氮气流量为3～8L/min；S3、利用牵引机构的顶端将下料口封住；S4、开始预加热，预加热速度为20～45℃/min，加热至500℃～850℃，保温30～45min；S5、继续加热至1500℃～1800℃，加热速度为50～70℃/min，保温30～60min；S6、再继续加热至2100～2300℃，加热速度为60～80℃/min，观察下料口，直至材料流出承接至牵引机构；S7、利用牵引机构牵引石英厚壁管坯体从出料口下移，出料速度为10～70mm/min；S8、在此期间不断的观察出料情况，根据材料的粗细调整加热的温度。9.如权利要求8所述的石英厚壁管二次成型方法，其特征在于，步骤S2中，采用单段石英厚壁管上料或多段石英厚壁管组合上料。2CN110498595A说明书1/4页石英厚壁管二次成型装置及成型方法技术领域[0001]本发明涉及石英管技术领域，具体涉及一种石英厚壁管二次成型装置及成型方法。背景技术[0002]石英管在半导体、光通讯等领域的使用的范围很广泛。常见的薄壁石英管有规格有很多，但是直接做出来石英厚壁管(壁厚>15mm)目前的还是很少。目前生产石英厚壁管的方法是主要有二种加工工艺：1)将石英棒经过掏孔工艺，直接制成厚壁石英管；