加热炉体和半导体设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110527984A(43)申请公布日2019.12.03(21)申请号201910807519.3(22)申请日2019.08.29(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人郝晓明郑建宇赵福平盛强(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣王婷(51)Int.Cl.C23C16/50(2006.01)C23C16/52(2006.01)C23C16/46(2006.01)F27D11/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称加热炉体和半导体设备(57)摘要本发明提供一种加热炉体和半导体设备，该加热炉体包括：环形保温体；以及相互独立的多个加热结构，沿环形保温体的轴向依次设置在环形保温体的内侧；并且，有至少一个加热结构包括多个加热分部，且与环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个加热分部在同一时间辐射出的热量不同。本发明提供的加热炉体，其能够在同等或较少的加热功率条件下，提高加热效率，缩短加热时间，同时又能够提高工艺均匀性。CN110527984ACN110527984A权利要求书1/2页1.一种加热炉体，其特征在于，包括：环形保温体；以及相互独立的多个加热结构，沿所述环形保温体的轴向依次设置在所述环形保温体的内侧；并且，有至少一个所述加热结构包括多个加热分部，且与所述环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个所述加热分部在同一时间辐射出的热量不同。2.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述分区为四个，且俩俩相对，并且相对的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量相同，而相邻的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量不同。3.根据权利要求1或2所述的加热炉体，其特征在于，所述加热结构为加热丝，所述加热丝在其中至少两个所述分区中的分布密度和/或直径不同。4.根据权利要求3所述的加热炉体，其特征在于，所述加热丝由沿所述环形保温体的周向弯曲缠绕的线体绕制而成，并且所述线体的至少一部分为螺旋弹簧状线体。5.根据权利要求4所述的加热炉体，其特征在于，所述线体包括多个第一线段和多个第二线段，其中，每个所述第一线段为所述螺旋弹簧状线体，且沿所述环形保温体的轴向设置；多个所述第一线段沿所述环形保温体的周向间隔设置；各个所述第二线段用于分别将各个相邻的两个所述第一线段的首尾两端串接。6.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体为采用硬质材料制作的刚性保温体。7.根据权利要求6所述的加热炉体，其特征在于，所述硬质材料包括由多晶莫来石和硅酸铝组成的混合纤维。8.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体包括多个环形分体，且沿轴向依次连接形成连续的环体；各个所述加热结构一一对应地设置在各个所述环形分体的内侧。9.根据权利要求8所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体的内部空间在其轴向上划分为主加热区和位于所述主加热区两侧的炉口加热区和炉尾加热区，其中，至少两个所述环形分体对应所述主加热区；至少一个所述环形分体对应所述炉口加热区；至少一个所述环形分体对应所述炉尾加热区。10.根据权利要求8所述的加热炉体，其特征在于，各个相邻的两个所述环形分体之间设置有配合结构，用于限定相邻的两个所述环形分体的相对位置。11.根据权利要求10所述的加热炉体，其特征在于，所述配合结构包括分别设置在相邻的两个所述环形分体之间的凹部和凸部。12.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述加热炉体还包括多个引出结构，各个所述引出结构设置在所述环形保温体的外侧，且与各个所述加热结构一一对应地设置，并且每个所述引出结构包括结构相同的两套引线组件，两套所述引线组件分别用于引入和引出对应的所述加热结构的两条接线。13.根据权利要求12所述的加热炉体，其特征在于，所述加热炉体还包括保护罩，所述保护罩环绕设置在各个所述引出结构的外侧。14.一种半导体设备，包括工艺腔、加热炉体和石墨舟，其特征在于，所述加热炉体采用2CN110527984A权利要求书2/2页权利要求1-10任意一项所述的加热炉体。15.根据权利要求14所述的半导体设备，其特征在于，所述加热炉体为卧式，且所述石墨舟中的多片石墨片沿所述加热炉体的一条直径方向间隔设置；所述分区为四个，且俩俩相对，其中相对的两个所述分区分别正对最外侧的两片所述石墨片；其余相对的两个所述分区分别正对中间的石墨片的两侧边缘；并且，正对最外侧的两片所述石墨片的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量，小于正对中间的石墨片的两侧边缘的两个所述分区中的所述加热