一种尾气吸收装置的设计方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110559838A(43)申请公布日2019.12.13(21)申请号201810567690.7(22)申请日2018.06.05(71)申请人浙江鸿禧能源股份有限公司地址314205浙江省嘉兴市平湖市新仓镇广全线联盟段283号(72)发明人赵丽艳(51)Int.Cl.B01D53/81(2006.01)B01D53/40(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种尾气吸收装置的设计方法(57)摘要本发明公开了一种尾气吸收装置的设计方法，由双层夹套结构（3）、进气口（2）、出气口（4）以及多孔隔板（6）组成；所述的双层夹套结构（3）为圆柱形、圆台形等各种中空结构；所述进气口（2）与扩散炉（1）连接，连接管道也为双层夹套结构；所述的出气口（4）与真空泵连接；所述的双层夹套结构中均通入冷却液；所述的多孔隔板数量≥2，多孔隔板的孔结构为圆形、长方形、椭圆形等结构，多孔隔板中间放置氢氧化钠、氧化钙、活性氧化铝、活性炭等中的一种或者几种吸附剂。本发明的有益效果是使低压扩散过程中形成的高温酸性尾气得到有效的吸收，减少对设备的腐蚀，增加设备使用寿命。CN110559838ACN110559838A权利要求书1/1页1.一种尾气吸收装置的设计方法，由双层夹套结构（3）、进气口（2）、出气口（4）以及多孔隔板（6）组成；其特征在于：所述进气口（2）与扩散炉（1）连接，连接管道为双层夹套结构；所述的出气口（4）与真空泵连接。2.根据权利要求1所述的一种尾气吸收装置的设计方法，其特征在于：所述的双层夹套结构（3）为圆柱形、圆台形等中空结构，均通入冷却液。3.根据权利要求1所述的一种尾气吸收装置的设计方法，其特征在于：所述的多孔隔板（6）数量≥2，多孔隔板的孔结构为圆形、长方形、椭圆形等结构，多孔隔板中间放置氢氧化钠、氧化钙、活性氧化铝、活性炭等中的一种或者几种吸附剂。2CN110559838A说明书1/2页一种尾气吸收装置的设计方法技术领域[0001]本发明涉及晶硅太阳能电池制造领域，具体地涉及一种尾气吸收装置的设计方法。背景技术[0002]目前传统的晶硅太阳能电池生产线主要采用常压扩散工艺，即在扩散过程中，扩散炉工作腔室内压力保持常压或微正压。随着太阳能电池向高效、低成本方向的发展，硅片表面掺杂浓度不断降低，PN结的结深越来越浅，方块电阻不断增加，常压扩散工艺对硅片掺杂均匀性的控制越来越差，很难制备出高质量的浅结高方阻PN结。此外，常压扩散工艺中化学品的消耗量大，难以满足太阳能电池低成本发展的技术要求。[0003]因此，晶硅太阳能电池制备技术向低压扩散技术发展。低压扩散反应管内为负压，通过管内负压环境提升扩散制PN结的性能，为进一步提高晶体硅太阳能电池性能、降低光伏发电成本奠定了基础。[0004]为了低压扩散炉在反应管内形成负压环境，在尾气排放系统中采用真空泵对反应管进行抽气，并配备压力调节器，形成管内特定的负压环境。真空泵为低压扩散炉的关键部件，尾气从反应管导出时温度很高，具有很强的酸性和腐蚀性，尾气直接进入真空泵容易造成真空泵腐蚀，影响真空泵的使用寿命，严重时导致真空泵损坏。此外，未经处理的高温酸腐蚀性气体直接排放会造成空气污染。因此高温酸性尾气高效处理是低压扩散炉使用过程中控制的关键点。发明内容[0005]本发明的目的是提供一种尾气吸收装置的设计方法，达到对扩散过程中形成的尾气有效吸收，并减少高温酸性尾气对设备的腐蚀，增加设备使用寿命的目的。[0006]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术解决方案是：提供一种尾气吸收装置的设计方法，由双层夹套结构（3）、进气口（2）、出气口（4）以及多孔隔板（6）组成；所述的双层夹套结构（3）为圆柱形、圆台形等中空结构；所述进气口（2）与扩散炉（1）连接，连接管道为双层夹套结构；所述的出气口（4）与真空泵连接；所述的双层夹套结构（3）中均通入冷却液；所述的多孔隔板（6）数量≥2，多孔隔板（6）的孔结构为圆形、长方形、椭圆形等结构，多孔隔板中间放置氢氧化钠、氧化钙、活性氧化铝、活性炭等中的一种或者几种吸附剂。[0007]本发明的有益效果是使低压扩散过程中形成的高温酸性尾气得到有效的吸收，减少对设备的腐蚀，增加设备使用寿命。附图说明[0008]图1尾气处理装置的结构示意图图中：1表示扩散炉；2表示进气口；3表示双层夹套结构；4表示出气口；5表示吸附剂；6表示多孔隔板图2多孔隔板平面图。3CN110559838A说明书2/2页具体实施方式[0009]为了对本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图对本发明技术方案做进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，并不用于限定本