一种蜂窝状球面栅网的制备工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110931330A(43)申请公布日2020.03.27(21)申请号201911335993.7(22)申请日2019.12.23(71)申请人安徽华东光电技术研究所有限公司地址241000安徽省芜湖市弋江区高新技术开发区峨山路01(72)发明人湛洪王鹏康刘鲁伟(74)专利代理机构芜湖金钥匙专利代理事务所(普通合伙)34151代理人谢建华(51)Int.Cl.H01J9/14(2006.01)H01J9/16(2006.01)H01J1/46(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种蜂窝状球面栅网的制备工艺(57)摘要本发明提供一种蜂窝状球面栅网及其制备工艺，其步骤方法为：首先对钼制的平面栅网进行光刻，制备蜂窝状栅网，对进行清洗去油；随后同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理。无氧铜基座退火温度为500℃-800℃，保温25min-40min。钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min的升温速度，升温至800℃-900℃，保温30min-45min，随炉冷却；从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照4-5MPa/min的压制速度进行压制，保压30-60s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；对栅网进行刻蚀，制得蜂窝状球面栅网。CN110931330ACN110931330A权利要求书1/1页1.一种蜂窝状球面栅网的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：S1：对钼制的平面栅网涂抹感光胶，进行曝光显影，对膜片进行刻蚀随后将感光胶去除制得蜂窝状平面栅网；S2：对蜂窝状栅网浸入C2HCL3纯溶液进行去油处理；S3：同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理；S4：从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照4-5MPa/min的压制速度进行压制，保压30-60s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；S5：将压有栅网的无氧铜放入C2HCL3纯溶液中进行去油处理，随后放入铬酸和硝酸的混合溶液当中对栅网进行刻蚀，将分开的栅网和无氧铜去除，进行干燥处理，取出蜂窝状球面栅网。2.根据权利要求1所述的一种蜂窝状球面栅网的制备工艺，其特征在于：步骤S3中的无氧铜基座退火温度为500℃-800℃，保温25min-40min。3.根据权利要求1所述的一种蜂窝状球面栅网的制备工艺，其特征在于：钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min升温速度，升温至800℃-900℃，保温30min-45min，冷却30min-60min。4.一种蜂窝状球面栅网，其特征在于：包括底座，所述底座（7）上方设有无氧铜基座（1），所述无氧铜基座（1）上方定位块（2），所述定位块（2）上方中部可拆卸连接阳模（3），所述阳模（3）和所述定位块（2）中间设有限位块（5）；且所述定位块（2）通过螺钉（6）可拆卸连接所述底座（7），且所述无氧铜基座（1）上对应设有限位孔（11），多个所述螺钉（6）滑动连接所述限位孔（11）；所述定位块（2）下方设有栅网（8），所述阳模（3）挤压连接所述栅网（8）。2CN110931330A说明书1/3页一种蜂窝状球面栅网的制备工艺技术领域[0001]本发明涉及栅网技术领域，主要涉及一种蜂窝状球面栅网的制备工艺。背景技术[0002]真空微波电子器件在军用电子装备中起着关键作用。微波管中电子枪的作用是使来自阴极的电子形成适于微波电路产生相互作用的电子注，为控制对注电流，大多是采用靠近阴极面的栅网来控制电流。蜂窝状球面栅是栅控电子枪中必不可少的一部分。[0003]蜂窝状球面栅网的加工精度要求高，加工工艺复杂，成本较高。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种球面栅网的压制工装，提高球面栅网的成功率，防止栅丝的断裂。[0005]本发明的另一目的在于提供一种蜂窝状球面栅网的制备工艺，该工艺意在降低球面栅网的制备难度，降低成本，提高球面栅网的生产率，该工艺方法简单，稳定性好。[0006]本发明的球面栅网的制备工艺是：a）对钼制的平面栅网涂抹感光胶，进行曝光显影，对膜片进行刻蚀随后将感光胶去除制得蜂窝状平面栅网；b）对蜂窝状栅网浸入C2HCL3纯溶液进行去油处理；c）同时对无氧铜基座和蜂窝状栅网进行真空退火处理。[0007]无氧铜基座退火温度为500℃-800℃，保温25min-40min。[0008]钼制的蜂窝状栅网按照小于10℃/min升温速度，升温至800℃-900℃，保温30min-45min，冷却30min-60min；d）从炉中取出栅网与铜基座，迅速将栅网与铜基座装入工装，使用液压机按照（4-5）MPa/min的压制速度进行压制，保压（30-60）s后，缓慢减少液压机的压力，取出工装；e）将压有栅网的