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一种提高CZ单晶炉调温效率的调温方法.pdf
2023-06-16
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一条****轩吗
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本发明公开了一种提高CZ单晶炉调温效率的调温方法，包括如下步骤，S1：准备阶段：S11：将加热机构的电源与外界的电源相连接，通过计算机程序控制启动加热机构，使得CZ单晶炉内的加热机构进行加热工作，然后CZ单晶炉内的温度在不断的进行上升；S2：调温逻辑设计阶段：S21：对CZ单晶炉外侧的计算机内的程序参数进行调温逻辑设计；S3：工作阶段：S31：同时温度检测系统中的炉膛温度传感器检测模块对CZ单晶炉内加热上升的温度数值进行实时检测。该提高CZ单晶炉调温效率的调温方法通过升高温过热逻辑、找温逻辑和回温逻辑将整
2023-06-16
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2023-06-18
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