一种卧式氮化镓生长炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111349970A(43)申请公布日2020.06.30(21)申请号202010201471.4(22)申请日2020.03.20(71)申请人山东科恒晶体材料科技有限公司地址255100山东省淄博市淄川经济开发区胶王路辅道以北、西十二路以东(72)发明人石恒业邵永亮张保国胡海啸李仕蛟(74)专利代理机构北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)11641代理人左海明(51)Int.Cl.C30B29/40(2006.01)C30B25/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种卧式氮化镓生长炉(57)摘要本发明涉及一种卧式氮化镓生长炉，属于晶体新材料生产技术领域。所述氮化镓生长炉包括卧式炉体、进气系统、生长杆和生长杆固定装置，所述炉体外侧设有分级加热系统，所述卧式炉体的两端分别设有第一连接法兰和第二连接法兰，所述进气系统和生长杆固定装置分别连接于所述卧式炉体的两端。本发明设计的卧式氮化镓生长炉可用于氮化镓晶体材料生产，生产效率高，晶体生长稳定。CN111349970ACN111349970A权利要求书1/2页1.一种卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述氮化镓生长炉包括卧式炉体、进气系统、生长杆和生长杆固定装置，所述卧式炉体设有分级加热系统使其内部形成5个温区，所述卧式炉体的两端分别设有第一连接法兰和第二连接法兰，所述生长杆水平固定连接在生长杆固定装置上，所述进气系统对接卧式炉体的第一连接法兰端，所述生长杆固定装置对接所述卧式炉体的第二连接法兰端，并将其上固定的生长杆水平插入卧式炉体中，所述卧式炉体的第二连接法兰端设有排气口，所述排气口通过管道连接废气处理装置；所述进气系统包括进气法兰板，所述进气法兰板与卧式炉体的第一连接法兰密封对接，所述进气法兰板上开有五个穿孔并分别连接有进气管，所述进气法兰板中空，其侧面上对称设有两个第一连接管分别连通进气法兰板内的空腔；所述生长杆固定装置设置有对接法兰盘和固定杆，所述对接法兰盘中部开有穿孔，所述对接法兰盘与卧式炉体的第二连接法兰密封对接，所述对接法兰盘的外侧中部连接有套管，所述套管连接在支撑板上，所述套管内固定有轴承，所述固定杆从对接法兰盘的穿孔插入套管，并从轴承的内圈穿过固定，所述固定杆穿过轴承后连接有传动轮，所述传动轮连接动力电机，所述动力电机固定在支撑板上；所述生长杆水平连接在固定杆上插入到卧式炉体中，所述对接法兰盘中空，其侧面对称设有两个第二连接管连通对接法兰盘内的空腔；所述第一连接管和第二连接管分别连接循环水系统。2.根据权利要求1所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述进气法兰板的下侧连接有第一支撑架，所述第一支撑架包括第一立板及其底部连接的第一平板，所述第一立板的顶端固定连接进气法兰板，所述第一支撑架的下侧设有第一滑轨，所述第一滑轨延卧式炉体的轴心方向铺设，所述第一平板的底部连接有第一滑块，所述第一滑块卡合连接第一滑轨，并可沿其滑动。3.根据权利要求1或2所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述支撑板的底部连接有横板，横板下侧设置有第二滑轨，所述第二滑轨也延卧式炉体的轴心方向铺设，所述横板的下侧面固定有第二滑块，所述第二滑块卡合连接第二滑轨，并可沿其滑动。4.根据权利要求3所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述对接法兰盘的中部外侧焊接有短接管，所述短接管与套管位于同一轴线上，所述短接管与套管通过不锈钢波纹管连接，所述短接管下连接有第二支撑架，所述第二支撑架包括第二立板及其底部连接的第二平板，所述第二平板的底侧面上也固定连接有第二滑块与第二滑轨卡合连接，并可沿其滑动。5.根据权利要求4所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述第二立板的外侧面中部固定有连接轴承，所述支撑板的中部开有内螺纹穿孔，所述连接轴承的内圈与支撑板的内螺纹穿孔位于同一轴线上，所述连接轴承的内圈固定丝杆的一端，所述丝杆的另一端从支撑板的内螺纹穿孔穿过，并与其螺纹连接，所述丝杆的端部连接有手轮。6.根据权利要求5所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述短接管为双层管壁，所述短接管的双层管壁之间的空腔与对接法兰盘的内部空腔连通。7.根据权利要求6所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述套管为双层管壁，其外侧管壁的两端分别对称设置有第三连接管连通套管的双层管壁之间的空腔。8.根据权利要求1所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述卧式炉体包括石英炉2CN111349970A权利要求书2/2页胆，所述石英炉胆的外侧缠绕有分级加热套，所述分级加热套的外侧覆有石棉保温层，所述石棉保温层的外侧包覆有一层不锈钢层，并外设箍带将其箍紧。9.根据权利要求8所述的卧式氮化镓生长炉，其特征在于，所述卧式炉体固定在底座上，外设