

原料气均匀布气装置及具有该布气装置的一氧化碳发生炉.pdf
斌斌****公主
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原料气均匀布气装置及具有该布气装置的一氧化碳发生炉.pdf
本发明提供一种原料气均匀布气装置及具有该布气装置的一氧化碳发生炉。本发明的原料气均匀布气装置,其特征是:包括与原料气进气管连接的升气管,所述升气管上下两端通过封板密封构成缓冲腔室,所述升气管的四周均匀分布四根布气管,每根所述布气管的自由端通过封板密封,每根所述布气管的底部开有均匀分布的布气孔,所述布气管外层用20目孔径的钢丝网包裹,所述升气管及所述布气管嵌入式设置在耐火颗粒层中,且所述耐火颗粒从下往上其粒度递减。本发明的布气装置整体结构设计巧妙,结构简单,成本低廉且操作方便,具备良好的原料气分布效果。
一种均匀布气装置.pdf
本发明公开了一种均匀布气装置,包括支撑架和卡块,所述支撑架的顶部左右两侧均固定有布气口,且布气口的内部顶部设有通气座,并且通气座的底部连接有活动盖板,所述卡块设置于支撑架的右侧底部,且卡块的正面右侧与背面右侧均开设有卡口,所述支撑架的左侧底部设有卡座,且支撑架的前侧中间固定有连接机构。该均匀布气装置通过设置了布气口通过通气座与活动盖板连接,在供氧结束后,在第一连接弹簧的作用下,活动盖板复位,有效的避免了布气装置完全堵塞,导致无法实现供气的现象,提高该装置的使用效率,同时结构简单便于制作,降低了制作成本,设
一种塔式气液接触设备均匀布气装置及其用途.pdf
本发明提供了一种塔式气液接触设备均匀布气装置及其用途,所述装置包括圆筒形塔体和设置于塔体底部的2个以上同轴空心圆筒,各空心圆筒以圆筒形塔体的中心轴线为轴,且各空心圆筒的内径和长度均不相等,相邻两个空心圆筒之间留有空隙;各空心圆筒底部设置有倒锥形封闭板,封闭板上设置有排液管;圆筒形塔体的底部设置有布气盘,布气盘上有开孔,布气盘的基体与空心圆筒上端密封连接;每个空心圆筒的筒壁下方设有进气口。该装置可以实现塔体横截面内气泡的均匀分布,气泡的直径均一,并且装置结构简单,容易加工,特别适用于大型布气设备。
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气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉,气相沉积炉的均匀供气装置,包括至少一条呈T字形的匀气管路,所述匀气管路的出气孔的朝向与反应气体的上升方向相反且背向工件。本发明设计精巧,通过设置出气孔的朝向,能够使反应气体流出后逐步的扩散到工件区域,避免了一个气口直接朝向工件供气时易造成气流冲击以及易使反应气体集中于某一区域,造成反应气体分布不均匀的问题,能够保证反应气体供应的均匀性,有利于提高薄膜沉积的质量。