一种改善锅炉大角度弯道流场烟气均匀性的装置.pdf
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一种改善锅炉大角度弯道流场烟气均匀性的装置.pdf
本发明公开了一种改善锅炉大角度弯道流场烟气均匀性的装置,包括若干y型折流板、若干钝角折流板及若干弧形折流板;锅炉大角度弯道包括入流烟道、连接烟道及出流烟道,入流烟道与连接烟道左侧的入口相连通,出流烟道与连接烟道右侧的出口相连通,其中,各y型折流板、钝角折流板及弧形折流板均位于连接烟道内,且正对出流烟道,该装置能够有效改善锅炉大角度弯道流场烟气的均匀性。
一种改善流场均匀性的装置.pdf
本发明具体涉及一种应用于CVD/CVI沉积炉中改善流场均匀性的装置,主要解决现有CVD/CVI沉积过程中流场不均匀的问题。该装置包括壳体、缓冲隔板、底层挡板、气体缓冲区和气体预热分配区;壳体包括外层筒体和进气盖板,进气盖板设置在外层筒体的顶部;缓冲隔板设置在外层筒体的腔体内,底层挡板设置在外层筒体的底部;缓冲隔板将进气盖板和底层挡板之间的腔体分为两个区域,分别为气体缓冲区和气体预热分配区,缓冲隔板上设有若干由中心向圆周方向呈放射状分布且孔径逐渐增大的气孔,底层挡板上设有若干由中心向圆周方向呈放射状分布且孔
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