中频感应加热炉炉体、炉体制造方法以及温度控制方法.pdf
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中频感应加热炉炉体、炉体制造方法以及温度控制方法.pdf
本发明涉及中频感应加热炉技术领域,特别地,涉及中频感应加热炉炉体、炉体制造方法以及温度控制方法,其中频感应加热炉炉体,包括炉衬,所述炉衬中间开设有供胚料通过的料道,所述炉衬内设有沿料道轴向延伸,且呈螺旋状卷绕在料道外侧的感应线圈;所述炉衬侧壁上沿炉衬轴向间隔设置有若干测温孔,其中所述测温孔均沿炉衬径向设置且贯穿炉衬侧壁,且所述测温孔位于感应线圈的相邻两匝线圈之间的间隔处。本发明还提供一种上述中频感应加热炉炉体的制造方法,以及一种中频感应加热炉的温度控制方法。本发明的提供的炉体中,通过在炉体的侧壁上开设测温
半导体热处理设备中加热炉体控制方法、加热炉体及设备.pdf
本发明提供了一种半导体热处理设备中加热炉体控制方法、加热炉体及设备。该方法应用于非对称加热炉体,该非对称加热炉体包括至少一个加热块,加热块的疏加热区与密加热区的加热元件的分布密度和/或电阻不同,且分别独立供电控制;该方法包括:检测疏加热区和密加热区的温度;根据上述温度及预设温度阈值调节至少一个疏加热区,和/或至少一个密加热区的加热功率,以使非对称加热炉体内被加热体的温度均匀。在本发明实施例中,可以独立控制疏加热区和密加热区的加热功率,适应各种不同温度要求,无需添加辅助加热件等设备以及停机更换加热件,可以降
立式炉及立式炉的炉体温度控制方法.pdf
本发明的一个方面,提供一种立式炉,包括炉体、环绕炉体设置的温控组件、送风管路、温度采集装置和控制装置,温控组件与炉体之间具有环形风道,温控组件与送风管路连通,送风管路用于向环形风道输送冷却气体,送风管路上设置有调节阀。温度采集装置用于获得炉体的实际温度,控制装置用于根据炉体的实际温度与目标温度的差值来控制调节阀的开度,以实现按预设变温速率对炉体进行温度控制。在本发明中,控制装置能够根据实际温度实时自动调节调节阀的开度,以降低炉体的实际温度与目标温度之间的差值,实现自动控制炉体温度,从而提高了对炉体温度的控
扁状中频炉体.pdf
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感应加热炉体的炉外壳结构.pdf
本发明涉及一种感应加热炉体的炉外壳结构,在炉外壳的顶端部焊接有角铁圈,角铁圈由侧面筒体和内凸缘一体构成,内凸缘起加强作用和余炉盖的连接作用。内凸缘在侧面筒体的上方,角铁圈的侧面筒体焊接在炉外壳的顶端内壁,角铁圈的侧面筒体的外径与炉外壳的内径配合,在内凸缘上开设有安装孔,在内凸缘的下表面上焊接有连接螺母,连接螺母的螺母孔与安装孔呈同轴设置。本发明可以大大加强炉外壳的强度,本发明具有结构简单与制作方便等优点。