高纯稀土金属钪及钪溅射靶材的制备方法.pdf
景山****魔王
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高纯稀土金属钪及钪溅射靶材的制备方法.pdf
本发明公开了一种高纯稀土金属钪及钪溅射靶材的制备方法。本发明将还原钪在真空碳管炉中进行多次分段蒸馏提纯,获得3N以上高纯稀土金属钪;将得到的高纯稀土金属钪采用真空悬浮熔炼,得到相应纯度的高纯稀土金属钪铸锭,然后将高纯稀土金属钪铸锭进行后处理,得到相应纯度的高纯稀土金属钪靶材。本发明能获得纯度3N以上的高纯稀土金属钪和钪溅射靶材,杂质含量可控制到:稀土杂质总含量<10ppm,Li+Na+K总含量<2ppm;靶材内部缺陷少,宏观凝固组织均匀,平均晶粒尺寸可以控制到130μm以下,甚至可控制到100μm以下,产
一种稀土金属钪溅射靶材的制备设备.pdf
本发明公开了一种稀土金属钪溅射靶材的制备设备,其结构包括抛光器、设备箱、载靶台、驱动器,抛光器末端与驱动器内部嵌啮合连接,驱动器整体与设备箱上端内部嵌套连接,设备箱表面与载靶台整体嵌固连接,载靶台表面与抛光器整体嵌套连接,抛光器包括覆抛罩、动力轴、配重块,动力轴末端与驱动器内部啮合连接,动力轴顶端与覆抛罩表面螺旋连接,本发明通过抛光片对稀土金属钪溅射靶材表面进行抛光,过程中同一驱动的吸风扇在转动后将抛光产生的粉末向上吸起,导入导粉槽内部,在槽本体内部的排末槽的配合下排出覆抛罩内部,有效解决了粉末都堆积在靶
高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法.pdf
高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法,步骤包括(1)制取自耗熔炼的坯棒:将铝颗粒与块状钪混合后压坯,获得坯棒;该坯棒的密度是60%—70%,铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%;(2)自耗熔炼:将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼,获得粗坯;(3)电子轰击熔炼炉熔炼:将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼,获得高钪铝钪合金靶材或粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺,克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷,利用各相关工艺的优点实现协同作用,可以制备出高品质的高钪铝
一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法.pdf
本发明公开了一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法,属于高性能铝钪合金靶材技术领域。该铝钪合金靶材中,钪元素的含量为5at%‑50at%,其余为铝元素。其制备方法包括:步骤一备料、步骤二熔炼铸锭、步骤三煅打或轧制、步骤四取样检测、步骤五铣磨清洗、步骤六真空包装。本发明采用真空磁悬浮熔炼炉和快速铸造快速冷凝工艺,制备铝钪合金靶材的厚度:2‑35mm,致密度99.9%,钪元素的含量为5at%‑50at%,其余为铝元素。实现制备方法操作简单、合金均匀,昂贵的金属钪利用率高、有利于产业化应用。成分均匀性好且后续可加工性
一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法.pdf
本发明公开了一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法,属于靶材技术领域,环形高钪铝钪合金靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将铝钪靶材用胶带保护;(2)将靶材准备腐蚀穿孔的位置的胶带去除,露出需要穿孔的圆形靶材表面,将腐蚀容器垂直于圆形靶材表面,并固定,将圆形靶材表面的背面与腐蚀容器对应的位置的胶带去除,并将背面露出部分与胶带的接触处密封;(3)将靶材放置于容器中,冰水混合物没过靶材,将酸液加入到腐蚀容器中,隔0.5~2小时将酸液吸出,用水清洗腐蚀位置并吸出,再加入酸液,重复操作,直至靶材腐蚀穿孔。本发明用酸