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一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法.pdf
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一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法.pdf
本发明公开了一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法,属于靶材技术领域,环形高钪铝钪合金靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将铝钪靶材用胶带保护;(2)将靶材准备腐蚀穿孔的位置的胶带去除,露出需要穿孔的圆形靶材表面,将腐蚀容器垂直于圆形靶材表面,并固定,将圆形靶材表面的背面与腐蚀容器对应的位置的胶带去除,并将背面露出部分与胶带的接触处密封;(3)将靶材放置于容器中,冰水混合物没过靶材,将酸液加入到腐蚀容器中,隔0.5～2小时将酸液吸出,用水清洗腐蚀位置并吸出,再加入酸液,重复操作,直至靶材腐蚀穿孔。本发明用酸
2023-06-06
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高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法.pdf
高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法，步骤包括（1）制取自耗熔炼的坯棒：将铝颗粒与块状钪混合后压坯，获得坯棒；该坯棒的密度是60%—70%，铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%；（2）自耗熔炼：将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼，获得粗坯；（3）电子轰击熔炼炉熔炼：将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼，获得高钪铝钪合金靶材或粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺，克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷，利用各相关工艺的优点实现协同作用，可以制备出高品质的高钪铝
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本发明实施例公开了一种铝钪合金靶材的制备方法，所述方法包括将金属钪和金属铝按一定配比投入熔炼炉中，在真空或惰性气氛下，熔炼得到铝钪合金熔体；将所述铝钪合金熔体浇铸到待加压铸造模具中，并将所述待加压铸造模具转移到挤压装置中，启动所述挤压装置，得到铸压坯体；将所述铸压坯体在真空退火炉中退火。采用本发明可以制备任意配比的铝钪合金靶材，获得的铝钪合金靶材具有组织和化学成分均匀，气孔、夹杂等缺陷小，相对密度高，加工性能好等优点，适合压电薄膜、传感器、微电子、半导体芯片、光伏等高端产业的需要。
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一种铝钪合金靶材的制备方法.pdf
本发明揭示了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝原料和钪原料通过冷坩埚悬浮熔炼，得到铝钪合金熔体；将铝钪合金熔体浇铸到模具上冷却成型，得到铝钪合金铸锭；将铝钪合金铸锭置于真空坩埚炉内，升温使铸锭熔融成为铝钪合金液；将铝钪合金液进行雾化后得到铝钪合金粉末；将铝钪合金粉末进行烧结后得到铝钪合金靶坯；将铝钪合金靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。本发明提供的一种铝钪合金靶材的制备方法，根据铝和钪的金属熔点相差悬殊特点，将铝原料分批次加入钪原料中进行熔炼，可以使合金靶材熔炼至完全合金化，而且采用熔化雾化的方
2023-06-16
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一种高钪含量铝钪合金及其制备方法.pdf
本发明提供一种高钪含量铝钪合金及其制备方法，属于高性能铝合金材料制备技术领域。该高钪含量铝钪合金中，钪元素的重量百分含量为55％～70％，其余为铝元素。其制备方法包括：1)筛粉：将铝粉和钪粉分别过不同目数的筛子，筛分出所需粒度的原料；2)配料：分别称取一定量的铝粉和钪粉，并将铝粉、钪粉按照一定质量比例混合；3)研磨：将铝钪混合粉放入球磨机中进行充分研磨，使其混合均匀；4)烧结：将研磨均匀的铝钪混合粉装入模具，使用液压机进行预压后，装炉并设定烧结程序进行烧结制备铝钪合金。通过本发明制备的铝钪合金具有致密度高
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