提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法及倍增极.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111996566A(43)申请公布日2020.11.27(21)申请号202010719868.2H01J43/10(2006.01)(22)申请日2020.07.23(71)申请人北方夜视技术股份有限公司地址650217云南省昆明市经济技术开发区红外路5号(72)发明人徐海洋金睦淳王兴超顾燕司曙光王亮涂蕴超周帆纪路路周新(74)专利代理机构南京行高知识产权代理有限公司32404代理人王培松王菊花(51)Int.Cl.C25D5/40(2006.01)C25D5/50(2006.01)C25D3/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法及倍增极(57)摘要本发明提供一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法及倍增极，包括：使用麻轮或布轮对倍增极表面进行精细抛光；对细抛完毕的倍增极进行去油、脱脂处理；对细抛后的倍增极表面电镀全光亮镍薄膜；步骤4、对镀膜后的倍增极置于烧氢炉进行烧氢处理，去除倍增极表面低熔点杂质粒子；步骤5、将倍增极置于十氟戊烷中常温超声处理，然后氮气吹干。本发明通过对倍增极材料表面进行布轮精细抛光，改善表面粗糙度；电镀全光亮镍膜，使倍增级表面达到镜面光亮、平整的效果，提升二次电子发射系数；进一步的，将金属镍倍增极材料进行烧氢处理，为二次电子发射薄膜的生长提供良好生长界面，有效改善侧窗打拿极光电倍增管外观，显著提高其增益。CN111996566ACN111996566A权利要求书1/1页1.一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，其特征在于，包括：步骤1、使用麻轮或布轮对倍增极表面进行精细抛光；步骤2、对细抛完毕的倍增极进行去油、脱脂处理；步骤3、对步骤2细抛后的倍增极表面电镀全光亮镍薄膜，其厚度在0.5～2μm；步骤4、对步骤3镀膜后的倍增极置于烧氢炉进行烧氢处理，去除倍增极表面低熔点杂质粒子；步骤5、将步骤4处理完毕的倍增极置于十氟戊烷中常温超声处理，然后氮气吹干。2.根据权利要求1所述的提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，其特征在于，所述步骤1中，精细抛光到镜面，表面粗糙度达到0.1um以下。3.根据权利要求1所述的提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，其特征在于，所述步骤2中，去油、脱脂处理包括以下过程：1)使用纯水将RBS清洗剂稀释至10～50倍；2)将稀释后的RBS清洗剂置于超声清洗机加热至50～60℃；3)等待温度上升至设定温度后，超声清洗30min；4)超声清洗完毕后，将倍增极置于纯水中溢流10min；5)将倍增极置于纯水中，50～60℃超声清洗5min，重复3～5次，至表面清洗剂被洗净；6)将倍增级置于无水乙醇中，50～60℃超声清洗10min，重复2次；7)将倍增极置于丙酮中，50～60℃超声清洗10min；8)将丙酮清洗完毕的倍增极置于70℃烘箱，将倍增极烘干。4.根据权利要求1所述的提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，其特征在于，所述步骤4中，烧氢温度800～1000℃，烧氢时间15min～30min。5.根据权利要求4所述的提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，其特征在于，所述步骤4的烧氢过程中，使用N2氛围对倍增极进行保护。6.一种根据权利要求1-5中任意一项所述的方法处理得到的侧窗打拿极型光电倍增管的倍增极。2CN111996566A说明书1/4页提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法及倍增极技术领域[0001]本发明涉及光电倍增管技术领域，具体而言涉及一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法。背景技术[0002]光电倍增管是将微弱光信号转换成电信号，并具有电信号倍增系统的真空电子器件，广泛应用于高能物理探测、放射医疗等领域，具有时间响应块、灵敏度高的特点。侧窗打拿极型光电倍增管主要由反射式光电阴极、倍增系统、阳极等部分组成。侧窗打拿极型光电倍增管倍增极系统材料选用金属镍制备。[0003]传统倍增极处理方法仅能去除倍增极表面油脂、灰尘和参与气体，但不能优化倍增级材料表面粗糙度，不能去除倍增极材料表面杂质粒子，影响二次电子出射和倍增极表面二次电子发射薄膜材料的生长，最终导致成管增益性能差。发明内容[0004]本发明目的在于提供一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，精细抛光处理、电镀全光亮镍镀层和烧氢处理，以改善金属镍倍增极表面粗糙度、提高电镀的表面光亮度效果，提升二次电子发射系数。[0005]为实现上述目的，本发明的第一方面提供一种提升侧窗打拿极型光电倍增管增益的倍增极处理方法，包括：[0006]步骤1、使用麻轮或布轮对倍增极表面进行精细抛