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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112094131A(43)申请公布日2020.12.18(21)申请号202011000957.8F28F21/04(2006.01)(22)申请日2020.09.22(71)申请人广东工业大学地址510060广东省广州市东风东路729号申请人东莞华南设计创新院(72)发明人姚英邦李毅胡永才许一文鲁圣国梁波陶涛(74)专利代理机构东莞科言知识产权代理事务所(普通合伙)44671代理人何文婕(51)Int.Cl.C04B38/06(2006.01)C04B35/10(2006.01)C04B35/581(2006.01)C04B35/622(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种含有微流道的双层厚膜陶瓷及其制备方法(57)摘要本发明提供了一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,包括以下步骤:以重量份计,氧化铝39.57‑59.57份,氮化铝30‑50份,堇青石10份和氧化镁0.43份,混合后搅拌均匀配得主料;以重量份计,PVB1份,无水乙醇25份,混合后搅拌均匀直至无明显白色颗粒为止得到PVB溶液,静置24小时后备用;将主料、蓖麻油、PVB溶液和无水乙醇混合球磨,配置得到固相含量为50%的乙醇基氧化铝浆料;对乙醇基氧化铝浆料进行流延,得到厚膜生坯;对厚膜生坯进行裁剪,将裁剪所得的两个大小相等的厚膜生坯叠在一起后进行温等静压处理;将温等静压处理后的厚膜生坯放在高温气氛炉里烧结以得到带有微流道的双层厚膜陶瓷。本发明的制备方法具有成本低,效率高,工艺简单且容易控制的有点。CN112094131ACN112094131A权利要求书1/1页1.一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1,以重量份计,氧化铝39.57-59.57份,氮化铝30-50份,堇青石10份和氧化镁0.43份,混合后搅拌均匀配得主料;步骤S2,以重量份计,PVB1份,无水乙醇25份,混合后搅拌均匀直至无明显白色颗粒为止得到PVB溶液,静置24小时后备用;步骤S3,将主料、蓖麻油、PVB溶液和无水乙醇混合球磨,配置得到固相含量为50%的乙醇基氧化铝浆料;步骤S4,对乙醇基氧化铝浆料进行流延,得到厚膜生坯;步骤S5,对厚膜生坯进行裁剪,将裁剪所得的两个大小相等的厚膜生坯叠在一起后进行温等静压处理;步骤S6,将温等静压处理后的厚膜生坯放在高温气氛炉里烧结以得到带有微流道的双层厚膜陶瓷。2.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S3中,PVB溶液和无水乙醇的体积比为1:1。3.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S3中,球磨时所使用的二氧化锆球的直径为3mm,二氧化锆球与主料的体积比为2:1,球磨速度为300rpm,时间为18小时。4.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S3中,所述蓖麻油占主料总重的1.5-2.5%。5.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S4中,所述流延工艺在PET薄膜上粘贴尼龙纤维,刮刀高度为纤维直径的3倍以上。6.如权利要求5所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,在流延工艺后,厚膜生坯连带尼龙纤维一同撕下来,叠在一起的两个厚膜生坯的接触面为厚膜生坯与PET薄膜的接触面,叠在一起后尼龙纤维存在于两个厚膜生坯的接触面之间。7.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S6中,所述温等静压的压力为25-35MPa,温度为50-70℃,保压时间为30min。8.如权利要求1所述的一种含有微流道的双层厚膜陶瓷的制备方法,其特征在于,步骤S6中,所述烧结过程先在空气氛围内排胶与造流道3小时,温度为700℃;然后在氮气氛围内,在1500℃下进行烧结,保温时间3小时。9.一种含有微流道的双层厚膜陶瓷,其特征在于,所述含有微流道的双层厚膜陶瓷采用权利要求1~8任一项所述的制备方法制得。2CN112094131A说明书1/5页一种含有微流道的双层厚膜陶瓷及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及厚膜陶瓷技术领域,尤其涉及一种含有微流道的双层厚膜陶瓷及其制备方法。背景技术[0002]微流道是指在换热器中,直径范围在10-1000um的微型通道。微流道换热器的研究始于上个世纪80年代,是为了满足电子工业发展的需要而设计的一类结构紧凑、轻巧、高效的换热器,其结构形式有平板错流式微型换热器、烧结网式多孔微型换热器等。用过蠕动泵驱动冷却液进行循环,微流道换热器很好的解决的微型电子元件换热难的问题,大大特高了电子元件的工作性能和工作寿命,也被广泛