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硅芯制备系统及制备方法.pdf
2023-06-16
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朋兴****en
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硅芯制备系统及制备方法.pdf
本发明涉及硅芯制备系统及制备方法，属于多晶硅生产技术领域，尤其涉及硅芯制备系统及制备方法技术领域。本发明包括混合气供应单元、混合气提纯单元、混合气纯度检测单元、还原炉、硅芯制备单元以及控制系统。相对于现有技术，本发明通过设置混合气提纯单元和混合气纯度检测单元，使混合气进行提纯以及纯度检测，从而提高了多晶硅棒的纯度；同时本发明通过在还原炉设置红外摄像机和控制系统，使控制系统能通过红外摄像机实时获取硅棒表面温度、硅棒直径以及硅棒表面粗糙度，从而使还原炉能根据硅棒表面温度、硅棒直径以及硅棒表面粗糙度，调整还原炉
2023-06-16
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2023-06-15
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2023-06-16
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硅基陶瓷型芯的制备方法.pdf
一种硅基陶瓷型芯的制备方法，包括下列步骤：第一步、粉料的混合；第二步、制备浆料；第三步、压制成型；第四步、烧结。在制备浆料中，增塑剂的配比为：91％～95％的石蜡、4％～6％的蜂蜡、1％～2％的EVA；增塑剂占混合粉的12％～15％。解决的技术问题是如何使硅基陶瓷型芯在烧结的过程中少裂纹、少断裂、变形小，以提高产品的合格率。
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