

一种气氛推板炉的炉膛进气装置及进气方法.pdf
玉怡****文档
亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
一种气氛推板炉的炉膛进气装置及进气方法.pdf
本发明涉及一种推板炉,尤其是一种气氛推板炉的炉膛进气装置,包括:连接气管,所述连接气管设置在气氛推板炉的炉体内;侧壁进气管,所述侧壁进气管设置在炉膛的两侧,所述侧壁进气管与所述连接气管连通;及进气侧壁砖,所述进气侧壁砖设置在炉膛的两侧,所述进气侧壁砖上设有进气孔,所述进气孔与所述侧壁进气管连通。本发明提供的一种气氛推板炉的炉膛进气装置通过对进入炉膛内部的气体进行加热,解决了气体温度过低导致进入炉膛后造成炉内温度波动较大的问题,从而保证了炉内温度的温度,进而保证了烧结产品的质量,同时提高了余热的利用率。
高温推板炉进气装置及其进气方法.pdf
本发明涉及一种高温推板炉,尤其是高温推板炉进气装置,包括:多孔壁砖,所述多孔壁砖上设有多个进气孔,且所述进气孔交错设置,所述多孔壁砖设置在高温推板炉的炉膛的两侧;进气仓,所述进气仓设置在所述多孔壁砖与高温推板炉的保温层之间;进气通道,所述进气通道的一端与所述进气仓相通,另一端与高温推板炉的保护气体管连接。本发明提供的高温推板炉进气装置结构简单,通过采用进气孔交错设置,以及加热保护气体,有效解决了保护气体不均匀以及烧结质量不稳定的问题。
一种竖炉进气装置及竖炉进气方法.pdf
本发明提出一种竖炉进气装置及竖炉进气方法,该装置包括从竖炉中部进气的煤气环管和煤气孔,还包括还原煤气输送与处理系统、检测及控制系统、底部进气管道、煤气分配器、保护罩、粉尘吹扫设施和煤气隔断设施;还原煤气输送与处理系统包括冷煤气管道、热煤气管道、热煤气除尘器和混合煤气管道;检测及控制系统包括冷煤气温度计、冷煤气流量计、冷煤气流量调节阀、热煤气温度计、混合煤气温度计及相关控制系统。本发明可靠高效地把还原煤气送入竖炉中心区域,根据生产实际需求,单独控制还原煤气的流量及温度,使竖炉内部煤气流分布均匀,温度场分布合
一种立式扩散炉的进气装置及方法.pdf
本发明公开了一种立式扩散炉的进气装置及方法,包括:进气管、第一平衡管、第一流量阀以及第二流量阀。通过第一流量阀控制第一平衡管中反应气体的流速,第一平衡管输送至炉内管的反应气体,由于第一平衡管和第二平衡管反应气体在炉内管中扩散的方向相反,第一平衡管输送至炉内管的反应气体,可以均衡炉内管中不同位置处的气压,从而使得炉内管的管道内不同位置处的气压均相等,进而使得炉内管上的出气孔处的反应气体流速一致,反应气体均匀扩散至不同位置的晶圆表面,实现不同晶圆表面薄膜生长的厚度和质量保持一致。
涡轮进气控制装置及进气控制方法.pdf
一种涡轮进气控制装置,包括一涡轮壳体、一驱动及控制单元、一封气机组件以及一传动组件。涡轮壳体具有一进气口以及一排气口。驱动及控制单元包括一步进马达以及一控制器,控制器驱动步进马达。封气机组件设置于涡轮壳体上,封气机组件包括一涡轮定子支撑板、多个封气板以及多个弹性件,涡轮定子支撑板的径向方向上设有多个封气板容置槽,且此些封气板以及此些弹性件设置于此些封气板容置槽中。传动组件连接于驱动及控制单元以及封气机组件之间,传动组件包括一凸轮环以及多个设置于凸轮环的径向方向上的顶块。步进马达控制凸轮环的旋转角度,使此些