一种制备ITO烧结体的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112592172A(43)申请公布日2021.04.02(21)申请号202011477157.5B28B1/093(2006.01)(22)申请日2020.12.15(71)申请人株洲火炬安泰新材料有限公司地址412000湖南省株洲市天易科技城A5栋(72)发明人唐智勇(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限公司44102代理人杨千寻杜梅花(51)Int.Cl.C04B35/457(2006.01)C04B35/622(2006.01)C04B35/626(2006.01)C04B35/64(2006.01)B28B1/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种制备ITO烧结体的方法(57)摘要本发明公开了一种制备ITO烧结体的方法，设备包括：筛分机、混合机、反应釜、浇筑模具、振动装置、脱水脱脂装置、烧结炉和加压装置；将In2O3粉末和SnO2粉末混合，将混合后的粉末制成浆料，对浆料进行浇筑处理制得素坯，将素坯进行脱水、脱脂处理后进行烧结作业得到烧结体，烧结完成后的ITO烧结体进行自然冷却，直到ITO烧结体冷却到室温。本发明具有预先对In2O3粉末和SnO2粉末进行筛分，使In2O3粉末和SnO2粉末的颗粒大小符合标准；对浇筑的浆料排气处理；提高烧结体密度的优点。CN112592172ACN112592172A权利要求书1/1页1.一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：将In2O3粉末和SnO2粉末混合，将混合后的粉末制成浆料，对浆料进行浇筑处理制得素坯，将素坯进行脱水、脱脂处理后进行烧结作业得到烧结体；所述方法包括以下步骤：S1、选取In2O3粉末和SnO2粉末，将In2O3粉末和SnO2粉末分别通过筛分机进行筛分，留下符合标准的In2O3粉末粒和SnO2粉末粒，剔除掉颗粒过大的In2O3粉末粒和SnO2粉末粒；S2、将符合标准的In2O3粉末粒和SnO2粉末粒送入到混合机内，启动混合机，将In2O3粉末粒和SnO2粉末粒混合均匀；S3、将In2O3粉末粒和SnO2粉末粒的混合粉末加入到反应釜中，并向反应釜中根据In2O3粉末粒和SnO2粉末粒的混合粉末量加入相应的纯净水，启动反应釜，反应釜内的搅拌桨将混合粉末与水混合搅拌，直到搅拌的浆料粘稠；S4、将制得的浆料倒入到浇筑模具中，对未成形的浆料进行排气处理，将振动棒插入到浆料中，振动装置通过振动棒的振动将浆料中的气泡震出，气泡破裂，从而将浆料中的气体排出，提高浆料的密度；浆料在浇筑模具中成形得到素坯；S5、将素坯送入到脱水脱脂装置内的支架上进行脱水脱脂处理；S6、将脱水脱脂处理后的素坯送入到烧结炉中，烧结处理的过程中，通过加压装置将纯氧加压后输送到烧结炉内，通过加压后的纯氧能够抑制In2O3和SnO2的分解以及In2O3和SnO2挥发，提高烧结体的密度。2.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：设备包括：筛分机、混合机、反应釜、浇筑模具、振动装置、脱水脱脂装置、烧结炉和加压装置。3.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：混合机的转速设置成1500r/min，符合标准的In2O3粉末粒和SnO2粉末粒在混合机内搅拌混合15min。4.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：脱水脱脂装置内设置有放置素坯的支架，将成型的素坯放入到脱水脱脂装置内进行脱水脱脂处理，脱水脱脂装置内温度设置在400℃‑500℃之间，脱水脱脂处理时间为12h。5.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：烧结炉内温度设置在1500℃‑1600℃之间，素坯在烧结炉内的烧结时间为10h。6.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：烧结炉与外置的加压装置，通过加压装置将纯氧加压后输送到烧结炉内。7.根据权利要求1所述的一种制备ITO烧结体的方法，其特征在于：烧结完成后的ITO烧结体进行自然冷却，直到ITO烧结体冷却到室温。2CN112592172A说明书1/4页一种制备ITO烧结体的方法技术领域[0001]本发明涉及ITO烧结体制备技术领域，具体为一种制备ITO烧结体的方法。背景技术[0002]ITO是一种铟(III族)氧化物(In2O3)和锡(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常质量比为90％In2O3，10％SnO2。它在薄膜状时，透明，略显茶色。在块状态时，它呈黄偏灰色。[0003]ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明传导镀膜。[0004]ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后