一种用于APCVD的履带线下清洗的装置和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112705514A(43)申请公布日2021.04.27(21)申请号202011642858.XB08B13/00(2006.01)(22)申请日2020.12.31(71)申请人有研半导体材料有限公司地址101300北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧申请人山东有研半导体材料有限公司(72)发明人何宇郑捷韩萍姜振虎刘义邓建忠张西标满序都(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人刘秀青(51)Int.Cl.B08B3/04(2006.01)B08B3/12(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种用于APCVD的履带线下清洗的装置和方法(57)摘要本发明公开了一种用于APCVD的履带线下清洗的装置和方法。该装置包括：间隔设置的两个履带轮、用于固定履带轮的支架、清洗槽和履带驱动装置；清洗槽设置在两个履带轮之间的位置，清洗槽上安装有超声装置；在清洗槽内设有重锤，用于将履带压入清洗槽内的清洗液面以下；履带驱动装置包括由电机驱动的驱动齿轮、通过传送皮带与驱动齿轮连接的从动齿轮，从动齿轮与所述两个履带轮中的一个连接并带动该履带轮转动。采用本发明的装置能够对背封设备APCVD背封炉的履带进行更深层次的清理和维护，对履带起到更好的清洁作用，提高履带使用寿命，更好的保护履带，降低成本。采用本发明的装置对履带进行清洗，能够提高产品质量，增大效益。CN112705514ACN112705514A权利要求书1/2页1.一种用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，该装置包括：间隔设置的两个履带轮、用于固定履带轮的支架、清洗槽和履带驱动装置；清洗槽设置在两个履带轮之间的位置，清洗槽上安装有超声装置；在清洗槽内设有重锤，用于将履带压入清洗槽内的清洗液面以下；履带驱动装置包括由电机驱动的驱动齿轮、通过传送皮带与驱动齿轮连接的从动齿轮，从动齿轮与所述两个履带轮中的一个连接并带动该履带轮转动。2.根据权利要求1所述的用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，在所述履带轮与清洗槽之间设有用于传动履带的多个传动轴。3.根据权利要求1所述的用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，所述清洗槽连接储液罐，用于清洗液的循环利用。4.根据权利要求1所述的用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，所述清洗槽连接自动加酸装置，所述清洗槽内设有下限位传感器、上限位传感器、排空传感器，这些传感器分别与PLC输入端连接；所述自动加酸装置具有储液罐，该储液罐的出液口依次连接一号泵、一号气动阀和清洗槽的进液口，一号气动阀经由一号电磁阀连接打液开关；同时，清洗槽的出液口依次连接二号泵、二号气动阀和储液罐的进液口，二号气动阀经由二号电磁阀连接排液开关；其中，一号泵、二号泵分别连接泵电压控制继电器，一号电磁阀和二号电磁阀分别连接得电导通的一号继电器和二号继电器，泵电压控制继电器和与各电磁阀连接的各继电器分别连接PLC输出端；当清洗槽内液位低时，便会触发下限位传感器；下限位传感器给到PLC一个液位低的输入信号；PLC输出一个电信号，控制一号继电器吸合；一号继电器控制一号电磁阀得电吸合，一号气动阀打开；同时泵电压控制继电器也吸合，一号泵打开，开始从储液罐向清洗槽进行补酸；当酸量达到清洗槽的上限位传感器时，上限位传感器给到PLC一个酸液已加满的信号，PLC自动切断继电器电源，二号继电器断开，二号电磁阀自动回位，二号气动阀关闭，加酸结束。5.根据权利要求4所述的用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，所述清洗槽上还设有保护线路传感器，该保护线路传感器连接PLC输入端，PLC输出端连接一得电断开的控制继电器，该继电器连接一报警蜂鸣器。6.根据权利要求4所述的用于APCVD的履带线下清洗的装置，其特征在于，所述储液罐安装有浮子传感器，该浮子传感器连接PLC输入端，PLC输出端连接储液罐低液位报警控制继电器，该继电器连接一报警蜂鸣器。7.一种使用权利要求1所述的装置对APCVD的履带线下清洗的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)将履带从背封设备APCVD炉中拆下，预先将履带的一头固定一个履带轮上并进行缠绕，然后将缠绕好履带的履带轮固定履带轮支架上，将履带另一头经重锤压入清洗槽内的氢氟酸溶液的液面以下，最后将履带另一头固定在另一个履带轮上；(2)将清洗液输入清洗槽中，至重锤及重锤下部的履带没入液面以下；(3)开启超声装置和履带驱动装置，履带在两个履带轮之间往复运动，直至履带上的白2CN112705514A权利要求书2/2页色粉末全部清洗掉后；(4)排空清洗槽的酸液，向清洗槽中倒入清水，将履带上残留的