炉管清洗装置及炉管清洗设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112808720A(43)申请公布日2021.05.18(21)申请号202011572977.2(22)申请日2020.12.24(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人王延广赵宏宇张敬博高广新梁家齐(74)专利代理机构北京思创毕升专利事务所11218代理人孙向民廉莉莉(51)Int.Cl.B08B9/049(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图7页(54)发明名称炉管清洗装置及炉管清洗设备(57)摘要本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。实现对炉管内壁的自动清洗，提高清洗效果。CN112808720ACN112808720A权利要求书1/2页1.一种炉管清洗装置，其特征在于，包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。2.根据权利要求1所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括导轨槽、传输链条、链轮和链轮驱动机构，所述传输链条设置于所述导轨槽内，至少部分所述导轨槽的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述清洗机构设置于所述传输链条的一端，所述链轮与所述传输链条驱动配合，所述链轮驱动机构用于驱动所述链轮转动，进而驱动所述传输链条及所述清洗机构在所述炉管内移动。3.根据权利要求2所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述导轨槽呈L型，包括垂直于所述炉管轴线的竖直部分和平行于所述炉管轴线的水平部分，所述水平部分的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述竖直部分和所述水平部分的连接处为圆弧形，所述链轮在所述连接处与所述传输链条配合，所述链轮驱动机构通过所述链轮驱动所述传输链条时，所述传输链条的一端沿平行于所述炉管轴线的方向移动，所述传输链条的另一端沿垂直于所述炉管轴线的方向移动；所述传输链条包括多个链节，所述链节仅能够向靠近所述链轮的一侧弯曲，所述链节上设有限位过孔，所述清洗介质管路穿过每个所述链节的所述限位过孔与所述清洗结构连通。4.根据权利要求1所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述清洗机构包括喷头组件和旋转基座，所述喷头组件与所述旋转基座连接，所述清洗介质管路通过所述旋转基座与所述喷头组件连通，所述喷头组件上设有多个用于清洗所述炉管侧壁并使所述喷头组件旋转的第一喷嘴和多个用于清洗所述炉管顶壁的第二喷嘴。5.根据权利要求4所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述旋转基座包括端盖、导流轴盖、限位垫块、旋转主轴、轴承组件和主轴衬套；所述端盖与所述传输链条的一端连接；所述端盖与所述导流轴盖密封连接，二者之间形成导流腔，所述清洗介质管路与所述导流腔连通，所述导流轴盖上设置有导流嘴，所述导流嘴深入所述旋转主轴中的导流通道中；所述限位垫块设置在所述导流轴盖上，所述旋转主轴设置在所述限位垫块上，所述轴承组件套设在所述旋转主轴上，所述主轴衬套套设在所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的外侧，与所述导流轴盖密封连接，用于限制所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的相对位置。6.根据权利要求5所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承、第一轴套、第二轴套；所述第一轴套和所述第二轴套与所述旋转主轴过紧配合，所述第一轴承的外圈和所述第二轴承的外圈与所述主轴衬套固定连接；所述第一轴承与所述第二轴承间隔设置，且所述第一轴承靠近所述限位垫块；所述旋转主轴靠近所述限位垫块的一端上设置有限位台阶，所述限位台阶设置于所述第一轴承和所述限位垫块之间，所述限位台阶远离所述限位垫块的一端与所述第一轴承的2CN112808720A权利要求书2/2页内圈抵接；所述第一轴套设置在所述第一轴承和所述第二轴承之间，所述第一轴套的两端分别与所述第一轴承的内圈、所述第二轴承的内圈抵接；所述第二轴套设置在所述第二轴承远离所述第一轴套的一侧，且所述第二轴套的一端与所述第二轴承的内圈抵接。7.根据权利要求5所述的炉管清洗装置，其特征在于，所述旋转主轴远离所述限位垫块一端的侧壁上开设有多个连通所述导流通道的安装孔；所述喷头组件包括多个弯头管，多个所述弯头管一一对应地安装在多个所述安装孔中，均与所述导流通道连通，每个所述弯头管上均设有一个所述第一