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一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉及其工艺方法.pdf
2023-06-15
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梦影****主a
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一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉及其工艺方法.pdf
本发明公开了一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉积炉，包括内室和外室，所述外室套设在所述内室的外侧，所述内室的底部设有进气口，其顶部设有盖体，所述盖体上设有与所述内室连通的气管，所述气管的另一端与真空泵连接，所述外室的中间设有环形发热体，所述内室的中心设有石墨发热体，所述石墨发热体的外侧套设有匹配的一体式碳碳套筒；所述内室内设有套设在所述石墨发热体外侧的隔板，所述隔板用于对碳碳坩埚进行分隔，所述隔板上设有通孔，所述碳碳坩埚的内层和外层均设有形状匹配的石墨工装。本发明采用上述一种碳碳坩埚温差狭缝导流快速气相沉
2023-06-15
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2023-06-15
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2023-06-15
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2023-06-20
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