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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113151775A(43)申请公布日2021.07.23(21)申请号202110404115.7(22)申请日2021.04.15(71)申请人常州大学地址213164江苏省常州市武进区滆湖路1号(72)发明人胡静麻恒魏伟(74)专利代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258代理人谢新萍(51)Int.Cl.C23C8/38(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种低温离子硼氮复合渗表面改性方法(57)摘要本发明属于金属表面处理技术领域,具体涉及一种低温离子硼氮复合渗表面改性处理方法。该方法是对试样进行低温离子硼氮复合渗处理,在离子渗氮炉内,在试样周围摆放硼铁,H2溅射60分钟后,在达到设定温度300℃时,通入空气,保温60分钟,以此来活化试样表面,加速硼原子的吸附和扩散,然后,再进行低温离子硼氮复合渗。本发明的有益效果是:硼氮渗入效率高、且形成FeB,Fe2B,Fe3B,Fe4N和Fe2~3N多相渗层,达到明显改善渗层硬度和耐磨性的效果,由此可以满足更严苛的服役条件。CN113151775ACN113151775A权利要求书1/1页1.一种低温离子硼氮复合渗表面改性处理方法,其特征在于:所述方法具体步骤如下:(1)在离子渗氮炉内,在调质好的34CrNiMo6钢周围摆放硼铁,抽真空后,调节电压、电流起辉,通入氢气,进行H2溅射,清洁试样表面;(2)溅射完毕后,关闭氢气,在达到设定温度后,通入空气,保温进行预氧化;(3)保温预氧化后,关闭空气,通入氮气和氢气,调节氮气和氢气体积比,达到设定温度460~500℃后,设定渗氮气氛压力,保温,进行低温离子硼氮复合渗;(4)待试样随炉冷却到室温,取出离子硼氮复合渗试样,进行测试分析。2.根据权利要求1所述的低温离子硼氮复合渗表面改性处理方法,其特征在于:所述步骤(1)中真空渗氮炉的型号为LDMC‑8CL,极限真空度6.7Pa;工作电流为2‑3A;工作电压为650‑700V,通入氢气流量为500ml/min。3.根据权利要求1所述的低温离子硼氮复合渗表面改性处理方法,其特征在于:所述步骤(1)中加硼铁方式为:将硼铁摆放在阴极盘,硼铁添加量为0.5g‑1.5g。4.根据权利要求1所述的低温离子硼氮复合渗表面改性处理,其特征在于:所述步骤(2)中预氧化温度为300℃,时间为60min,空气流量为3‑5L/min。5.根据权利要求1所述的低温离子硼氮复合渗表面改性处理,其特征在于:所述步骤(3)中氮氢体积比为1:3,氮氢混合气体的总流量为760ml/min。6.根据权利要求1所述的低温离子硼氮复合渗表面改性处理,其特征在于:所述步骤(3)中低温离子硼氮复合渗渗氮气氛压力为400~500Pa,保温时间为6h~8h。2CN113151775A说明书1/5页一种低温离子硼氮复合渗表面改性方法技术领域[0001]本发明属于金属表面处理技术领域,特别涉及一种低温离子硼氮复合渗表面改性方法。背景技术[0002]离子渗氮是一种应用广泛的化学热处理技术,具有工件变形小以及无污染等显著优势。然而,随化合物层厚度增加、脆性增大,对于承受冲击和重载磨损的零部件,服役过程中易出现化合物层局部开裂和脱落现象,导致零部件早期失效。[0003]渗硼是向钢或其他多种合金扩散渗入硼元素,以在表层获得硼化物的一种表面化学渗扩工艺。渗硼后渗硼层组织致密,硼化物呈针齿状楔入基体,与基体结合牢固,具有很高的硬度和耐磨性以及热硬性等综合性能。但常用固体渗硼所需温度高达1000℃左右,且保温时间长,因此存在能耗大、效率较低的不足。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是:基于上述技术问题,本发明提供一种低温离子硼氮复合渗表面改性方法,达到提高效率、改善渗层综合性能的显著效果。[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种低温离子硼氮复合渗表面改性处理方法,包括以下步骤:[0006](1)将34CrNiMo6钢放入渗氮炉内,在阴极盘放入0.5g~1.5g硼铁,抽真空至一定真空度后,调节电压、电流起辉,通入氢气,进行H2溅射,清洁试样表面,增加试样表面活性。[0007]真空渗氮炉的型号为LDMC‑8CL,极限真空度6.7Pa;工作电流为2‑3A;工作电压为650‑700V,通入氢气流量为500ml/min;[0008](2)溅射完毕后,关闭氢气,达到设定温度300℃后,通入空气,保温60min,进行预氧化来活化试样表面,加速硼原子的吸附和扩散,空气流量为3‑5L/min。[0009](3)保温预氧化后,关闭空气,通入氮气和氢气,调节氮气和氢气体积比,达到设定温度460~500℃后,设定渗氮气氛压力,保温,进