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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113400632A(43)申请公布日2021.09.17(21)申请号202110742168.XC03B23/00(2006.01)(22)申请日2021.06.30C03B11/00(2006.01)(71)申请人深圳大学地址518000广东省深圳市南山区南海大道3688号(72)发明人杨高龚峰(74)专利代理机构深圳中一联合知识产权代理有限公司44414代理人郭雨桐(51)Int.Cl.B29C59/00(2006.01)B29C59/02(2006.01)B21D13/02(2006.01)B21D37/16(2006.01)B21D37/10(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种热压印装置以及热压印方法(57)摘要本发明属于非晶材料设备技术领域,尤其涉及一种热压印装置以及热压印方法。热压印装置包括:具有加热室并用于加热非晶材料的加热炉、位于加热室的模座、开设有微纳结构的下模具、重力组件以及与下模具配合的上模具,模座、下模具、上模具以及重力组件从下往上依次层叠堆放,下模具设有朝上设置的模压面,模压面水平布置且开设有微纳结构,非晶材料位于下模具和上模具之间且抵接微纳结构,重力组件堆放于上模具,以使上模具下压下模具。本发明简化了热压印装置的结构,且任意两相邻的两零部件的接触面之间允许相对滑动,故可以减小连接引起的变形,从而提高热压印精度。CN113400632ACN113400632A权利要求书1/1页1.一种热压印装置,用于对非晶材料进行模压,其特征在于,所述热压印装置包括:具有加热室并用于加热所述非晶材料的加热炉、位于所述加热室的模座、开设有微纳结构的下模具、重力组件以及与所述下模具配合的上模具,所述模座、所述下模具、所述上模具以及所述重力组件从下往上依次层叠堆放,所述下模具设有朝上设置的模压面,所述模压面水平布置且开设有所述微纳结构,所述非晶材料位于所述下模具和所述上模具之间且抵接所述微纳结构,所述重力组件堆放于所述上模具,以使所述上模具下压所述下模具。2.如权利要求1所述的热压印装置,其特征在于:所述重力组件包括堆放于所述上模具的熔融硅板以及堆放于所述熔融硅板上的施压件。3.如权利要求2所述的热压印装置,其特征在于:所述上模具设有第一支撑面,所述第一支撑面朝上且水平布置,所述熔融硅板堆放于所述第一支撑面;所述第一支撑面与所述熔融硅板朝向所述第一支撑面设置的板面之间的平行度小于10弧秒。4.如权利要求1所述的热压印装置,其特征在于:所述模座具有朝下且水平布置的第二支撑面和朝上且水平布置的第三支撑面,所述第二支撑面抵接所述加热室的内壁,而所述下模具抵接所述第三支撑面。5.如权利要求4所述的热压印装置,其特征在于:所述模座是由碳化硅制成的模座,且所述第二支撑面和所述第三支撑面均经抛光处理。6.如权利要求4所述的热压印装置,其特征在于:所述热压印装置还包括隔热块,所述隔热块设置于所述加热室,所述模座堆放于所述隔热块,且所述第三支撑面抵接所述隔热块。7.如权利要求1‑6任意一项所述的热压印装置,其特征在于:所述热压印装置还包括抽真空结构,所述抽真空结构用于抽离所述加热室内的气体。8.如权利要求7所述的热压印装置,其特征在于:所述抽真空结构包括用于抽离气体的真空泵以及用于测量所述加热室内的真空度的真空计,所述真空计连接所述加热炉。9.如权利要求1‑6任意一项所述的热压印装置,其特征在于:所述热压印装置还包括调节支撑脚以及铺设于地面隔振垫,所述加热炉通过多个调节支撑脚而设置于所述隔振垫,所述调节支撑脚用于调节所述加热炉的位置,以使所述模压面的水平布置。10.一种热压印方法,其特征在于,用于模压非晶材料,包括如下步骤:准备加热炉、模座、下模具、重力组件以及上模具;所述加热炉具有加热室并用于加热所述非晶材料,将所述模座放置于所述加热室;所述下模具设有朝上设置的模压面,将所述模压面水平布置且于所述模压面上开设微纳结构;将所述模座、所述下模具以及所述上模具从下往上依次层叠堆放,所述非晶材料位于所述下模具和所述上模具之间且抵接所述微纳结构;将所述重力组件堆放于所述上模具,以使所述上模具下压所述下模具。2CN113400632A说明书1/5页一种热压印装置以及热压印方法技术领域[0001]本发明属于非晶材料成型设备技术领域,尤其涉及一种热压印装置以及热压印方法。背景技术[0002]目前,非晶材料如玻璃、塑料和非晶合金在国防、工业和民用领域均有广泛的应用。由这些非晶材料制造的微光学元件、微流控芯片、微电子机械系统器件、超疏水表面等功能微纳结构器件在信息与通讯技术、高端制造和测量系统、生物医疗等领域的需求量日益增大。激光直写技术、离子