一种新型IGZO气氛预热烧结炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113465393A(43)申请公布日2021.10.01(21)申请号202110604051.5(22)申请日2021.05.31(71)申请人河北恒博新材料科技股份有限公司地址057250河北省邯郸市曲周县骆庄工业区(72)发明人骆树立李庆丰王建堂骆如河骆胜华骆胜磊骆利军王壮伟骆胜凯骆胜喜(74)专利代理机构石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙)13123代理人周胜欣(51)Int.Cl.F27D7/06(2006.01)F27D11/00(2006.01)F27D17/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称一种新型IGZO气氛预热烧结炉(57)摘要本发明公开了一种新型IGZO气氛预热烧结炉，通过在烧结炉内加入预热管道，对烧结气氛进行炉内预热；并且通过改造预热管道出气口的安装位置以及安装方式，可以使炉内气氛均匀流动，避免气流对靶材的冲击，同时，还能够降低炉内温差，有效地保证了IGZO靶材的烧结温度区间，在保证电导率的同时使得靶材的密度和晶粒尺寸更均匀，提高了靶材的稳定性和均匀性，降低烧结时间，节约能源，提高了靶材的成材率。CN113465393ACN113465393A权利要求书1/1页1.一种新型IGZO气氛预热烧结炉，包括内部设置有炉层（15）的烧结炉本体，所述烧结炉本体的内壁上设置保温炉砖，所述保温炉砖与炉层（15）之间设置U形加热棒（14），且U形加热棒（14）由炉顶固定沿烧结炉内壁设置一圈，其特征在于：所述U形加热棒（14）与保温炉砖之间设置有预热管道（1）；预热管道（1）的底部设置有预热管道进气口（9）且预热管道进气口（9）穿过保温炉砖与进气装置连接，预热管道（1）的顶部设置有预热管道出气口（13）且预热管道出气口（13）的出气方向垂直向下。2.根据权利要求1所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述预热管道（1）的内部、自上而下分别间隔设置第一阻拦装置（3）和第二阻拦装置（6）；第一阻拦装置（3）和第二阻拦装置（6）均设置有中心孔、且第一阻拦装置（3）和第二阻拦装置（6）的上部分别悬空设置第一气体流量阀（2）和第二气体流量阀（5）；所述第一气体流量阀（2）和第二气体流量阀（5）均设置为圆台结构，第一气体流量阀（2）的上底面直径大于第一阻拦装置（3）中心孔的直径大于第一气体流量阀（2）的下底面直径；第二气体流量阀（5）的上底面直径大于第二阻拦装置（6）中心孔的直径大于第二气体流量阀（5）的下底面直径；且第二气体流量阀（5）的上底面直径小于第一阻拦装置（3）中心孔的直径。3.根据权利要求2所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述第一气体流量阀（2）的重量大于第二气体流量阀（5）的重量。4.根据权利要求2所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述第一阻拦装置（3）和第二阻拦装置（6）之间形成第一气体加热室（4），第二阻拦装置（6）的下部为第二气体加热室（7）。5.根据权利要求1所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述预热管道（1）的内部、位于预热管道进气口（9）的位置处设置气体减速装置（8），所述气体减速装置（8）包括迎向气流方向、呈弧形发散状设置的导流板，所述导流板上设置有导流孔。6.根据权利要求1所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述预热管道（1）的顶部设置有装配保险帽（11）的气体稳压装置（10），所述预热管道出气口（13）设置于气体稳压装置（10）的底端，且气体稳压装置（10）的内部、位于预热管道出气口（13）的内侧放置有气体滚动球（12）。7.根据权利要求1～6任一项所述的一种新型IGZO气氛预热烧结炉，其特征在于：所述预热管道（1）采用一体注浆成型的陶瓷加热管道，且为片状结构。2CN113465393A说明书1/6页一种新型IGZO气氛预热烧结炉技术领域[0001]本发明涉及一种新型IGZO气氛预热烧结炉，用于IGZO靶材的烧结。背景技术[0002]由In(铟)、Ga(镓)、Zn(锌)、O(氧)构成的半导体材料IGZO薄膜用于液晶显示器和有机EL显示器的像素驱动用晶体管，有望大幅降低这些显示器的耗电量。[0003]将来IGZO材料的应用范围将扩展到显示器和触摸板以外，IGZO材料应用于TFT和布线时，温度可以较低。在低温下处理可以降低制造成本，并且可弯曲性强，因此适合基于树脂基板的柔性显示器。还具有迁移率高、均匀性好等优点。[0004]IGZO靶材是制备IGZO薄膜的关键材料，通过磁控溅射工艺可以大面积的制造IGZO薄膜。但是，在溅射过程中IGZO靶材的成分、晶粒均匀性以及显微结构等都会影响靶材的溅射性能。所以，为了得到